スイスVAT 61.6-高真空バタフライ制御と隔離弁

61.6 HV制御バタフライバルブは優れた圧力制御と隔離性能を提供する。CVDプロセスにおける精密な制御と隔離のためのソリューションである、迅速で正確なモーションコントローラ（0.45秒）により実現されます。蝶板は絞り要素として、バルブポートの伝導性を変えた。61.6の統合圧力コントローラは、設定された圧力にできるだけ早く到達するために必要なプレート位置を計算します。

61.6シリーズの隔離機能は、バタフライバルブの高いシール摩耗を回避するために設計されています。その中心外板軸及び弁体とシールシートの特殊な幾何形状により、シール摩擦が低くなり、シール性能が向上する。

61.6シリーズは、数千のさまざまなプロセス条件で過酷なアプリケーションに実装されており、優れた信頼性が実証されています。61.6シリーズには、堅牢な設計と直接インストールオプション、およびメンテナンスの削減と利便性があり、すべての点で優れています。

本体材料、表面処理、エラストマー、フランジ接続、シール材料、特殊寸法及び特殊制御アルゴリズム（適応、固定PI下流/ソフトポンプ）における各種設計オプションは61.6シリーズと各種真空応用の統合を簡略化した。