走査電子顕微鏡SU 3500

走査電子顕微鏡SU 3500

高画質のタングステンフィラメント走査電子顕微鏡は、画像品質がさらに向上している。

高画質化により走査型電子顕微鏡の分析能力と操作性を向上させ、日立の先進技術を凝縮した。SU 3500タングステンフィラメント走査電子顕微鏡は「3 kV加速電圧7 nm分解能」を実現した新しい電子光学系を有し、現実的に立体画像化できる「リアルタイム立体観察機能」＊1、及びより高い検出効率の「UVD超高感度可変圧力検出器」＊1は観察と分析のために新しい基準を提出した。

*1：セルフタイマー

特徴

1.低加速電圧観察時の分解能がより高く、サンプル表面の微細形状をよりよく観察し、サンプルの損傷をより効果的に低減することができる

2.新設計の電子光学系と信号処理技術により、高速走査と低騒音の観察を実現

従来の走査電子顕微鏡に比べ＊2自動機能は＊3を約11秒短縮

3.低真空時にサンプル表面を非常に良く観察できる微細形状を有する「UVD（超高感度可変圧力検出器）」＊4

4.リアルタイム立体撮像を実現した「リアルタイム立体観察機能」＊4

*2：日立SEM S-3400 Nと比較

*3：観察条件によって時間が変動する

*4：セルフタイマー

仕様：