SF 6ガス希釈装置国産

SF 6ガス希釈装置国産LY-200P主な特徴

★HD 800×480解像度の真彩抵抗タッチパネルは、パソコンや携帯電話に接続して操作することができます。

★高精度質量流量コントローラ、配気出力精度が高い

★操作が簡単で、インタフェースが一目でわかる、

★PLCプログラマブルコントローラは各種機能をカスタマイズできる、

★拡張性が強く、数十種類のガスを調合することができる、

★ワンタッチでエアを配置し、冗長操作がない、

SF 6ガス希釈装置国産主な技術指標

出力流量：0-2000、0-5000、0-10000 sccmなどの仕様を選択可能

質量流量制御器精度：±1%RD（高配合0.6%RD）

質量流量制御器繰返し精度：±0.2%

応答時間：≦1 sec

耐圧：1 MPa、3 MPa

ガス漏れ率：1×10-9 SCCSHe

通路材料：316 Lステンレス鋼又はポリテトラフルオロエチレン

出入口接続方式：Φ6ステンレススチール板挿通スリーブまたはクイックプラグコネクタ

シール材：フッ素ゴム（又はブタジエンゴム、シリコンゴム、ポリテトラフルオロエチレン）

予熱時間：＜10 min（高配合で予熱不要）

外形寸法：奥行き430 mm×幅240 mm×高さ340 mm

配気希釈比：1000：1、500：1、200：1、100：1、50：1などの仕様を選択可能

計器重量：8 Kg、

動作温度は5℃〜45℃、作動圧力差：0.1〜0.3 MPa相対湿度は85%以下、

充電源は交流220 V±22 V、周波数50 Hz±1 Hz、

使用方法

1、器具使用前の準備と検査

計器のPOSTが正常になった後、タッチパネル選択によって直接給気界面に入ることができる。例外については、「FAQと解決」を参照してください。

1.2ガスボンベの点検

減圧弁出力弁を閉じ、ガスボンベ弁を開き、ガスボンベ弁を開くと、減圧弁高圧圧力計の圧力値はガスボンベ圧力値と一致し、一般的に1 Mpa以上の圧力が強くなる。減圧弁が空気漏れしなければ、高圧圧力計の圧力値はずっと変わらず、深刻な空気漏れがある場合は明らかな気流音が聞こえるので、直ちにボンベを閉じて再接続しなければならない。

1.3機器の管路接続

各路の減圧弁と計器入力管路を接続し、計器出力管路を接続し、それから各路の減圧弁スイッチをゆっくりと開き、減圧弁の減圧出力の圧*が0.05 MPaであることを確保し、出力圧を0.1 MPaに調整することを推薦し、一般的には圧力が0.3 MPa未満（低圧圧力力計による最後の圧力出力の観察と調整）を使用する。

2、ガス供給工程

電源を入れて予熱した後、主界面でまず各通路を選択してガスタイプと標準ガス濃度を入力し、その後自動的に対応係数を生成し、それから希釈濃度を設定し、最後に排気流量を設定し、ガスをクリックして起動し、必要な希釈濃度点を選択すれば自動的に動作する。循環機能が必要な場合は、循環時間を設定し、循環をクリックしてオンにし、再点配気を起動すると、自動的に設定された時間に従って各希釈濃度点を循環することができる。

ガス係数のプリセット変更インタフェースを提供し、ユーザーは実際の状況に基づいて設備パラメータを修正することができる

トラフィックキャリブレーション（この機能は毎年キャリブレーションに使用されます。ユーザーは通常、設定する必要はありません）

キャリブレーションインタフェースをクリックして、この通路に必要なキャリブレーションポイントのパーセントを入力して、初期補正係数1を入力して、それから補正ポイントを選択して、気体はこの道路流量コントローラに入って、実際の流量は流量コントローラの気体流量値を表示して、流量入力の高精度質量流量計流量値を補正して、最後の補正値は書き込んで、つまりこの補正ポイントの補正を完了します。この補正点では±50%流量範囲ともに補正後の係数を用いて補正を行った。

流量曲線流量曲線図をクリックして流量曲線界面に入ると、図8に示すように、リアルタイムでガス流量安定性を監視することができる

3、洗浄

給気が完了したら、計器または通気設備のために洗浄しなければならない。ガス、特に猛毒、毒性が強く、腐食性ガスが機器や設備の管路内部に長時間残留することを防止し、人員の安全上の脅威と機器部品の損傷をもたらす。推奨配気終了後、吸気通路にN 2標準ガスを接続し、N 2標準ガスの出力圧力を0.2 MPaに調整し、その後通気洗浄を行い、洗浄が完了したら吸気減圧弁を閉じる。

注意：ガス分配器はガス分配を停止した後、直ちに電源を切らないでください。特に猛毒、毒性が強く、腐食性ガスに対しては、窒素で洗浄してから閉じる必要があります。機器は乾燥した場所に保管されているので、熱源、火源から離れています。この機器には清浄ガスしか通さず、水油や粉塵などの粒子状物質を含む通電によってセンサーを損傷させることができる

一般的な問題と解決

1.ガス分配器の濃度又は流量不足

ガスボンベ減圧弁の高圧圧力計と減圧後の低圧圧力計を観察し、圧力計に基づいてガスボンベにガスがあるかどうか、または減圧出力後の圧力が低すぎるかどうかを決定する

2.入力エラー

入力された値（必要なガス流量）が機器の範囲内にあるかどうかを確認します

3.ガスボンベはすぐに圧力不足になる

まずボンベに空気があるかどうかを検査してから、減圧弁に空気が漏れていないかどうかを検査する

4.どのように計器の気密性を検査するか

鋼瓶を器具にガス接続した後、ゆっくりと減圧弁を0.2 MPaまで開けて、それから鋼瓶の総弁を閉じて、しばらく後に減圧弁の指示圧力に明らかな変化がなくて、さもなくば先に管路を検査して、管路の問題を排除して、器具の気密性は悪くて、メーカーに連絡してください。

5タッチパネル異常

タッチが故障した場合、ボタンを押しても反応がないので、一度計器を再起動してください。再び電源を入れても故障しているので、メーカーに連絡してください

6.排気中に気流が流れない

ガス源が開いていない、ガス路が通じていない、ガス源を接続し、ガス流を開通してください

7.流量偏差が大きく長い間使用した後、零点ドリフト、検査方法、任意に2ウェイガスを設定し、流量を0に設定し、通気しない場合の流量値が大きい場合は、メーカーに連絡してください

8.濃度、流量表示値が不安定

過減圧弁低圧計はガス出力圧が作動圧にあるかどうかを検査する

内、一般的には0.1 MPaより大きく、推奨値：0.2 MPa。出力圧力が正常で、故障がまだ残っている場合は、配管の気密性をチェックして、まだ解決していないので、メーカーに連絡してください

サービスと保証

当社は高信頼性、高精度の計器を提供することに力を入れ、ISO 9001品質管理システムの基準に厳格に従って研究開発生産テストを行い、各製品が使用期間内に安定して動作することを確保する。しかし、機器部品の特殊な特性、つまりいくつかの条件の下で一定の割合の故障や故障があるため、これらの製品の雷宇測量制御は無料保証を実施している。保証期間は、製品が販売された日から計算される24ヶ月間です。この期間、顧客以外の理由による製品障害については、無償保証を実施しています。

顧客の人為的な理由による製品障害は無償保証の対象外です。保証期間を超えている、または保証範囲を満たしていない製品の損傷（不良）に対しては、有償保証サービスを実施します。

無償保守条項

1.お客様が自分で製品を分解した場合。

2.結露、ほこり、物理的接触などによりデバイスが汚染され、修復できない場合

3.回路が正しく接続されていないため、回路が焼損した。

4.その他の明らかな物理的損傷の