ガス質量流量制御器

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概要

ガス質量流量制御器CL−500 D流量は、2 sccm−50 slm非腐食性ガス（N 2に対して）を覆うことができる♦性価比が高いRS 485とアナログ通信に対応♦自動ゼロ復帰機能設定、プロセス安定性の向上

製品詳細

ガス質量流量制御器CL-500D

仕様
フルスケール範囲（N 2方程式）	たんガス2-5000sccm ｜シングルガス5-50slm
制御弁タイプバルブタイプ	常開または常閉ソレノイド（NCまたはNO）
組立接続	1/4インチVCRまたは1/4インチ世偉ロック互換性
アザラシ密封（みっぷう）	ゴムディメンションパス
レスポンス時間レスポンス時間	wlSec（フルレンジオーバー10%）
せいどせいみつせい	25%-100%：w±1%SP（フルレンジ25%へ 100%) 2%-25%:w±0.25%F.S（フルレンジ2%へ 25%)
線形せんけいど	wフルフィル程の土 0.5%
くりかえしせいくりかえしせい	wフルレンジ±0.2%
差圧あつりょくさ	7-40psi
リーク整合性ろうえいりつ	最大：1 x 10-7 Pa.m 3/sec（He）
せいぎょはんいせいぎょはんい	フルレンジ2-100%
さぎょうあつりょくさいだいそうさあつりょく	70ポンド/平方インチ
たいあつ圧力を受ける	最大値140ポンド/平方インチ
通信タイプ通信モード	模擬 0-5V/RS485
インプットパワーインプットパワー	+15VDC±2%100 mA時 -15VDC±2%200 mA時
コマンド信号にゅうりょくアナログしんごう	アナログ信号0-5ボルト直流（入力インピーダンス＞1M Q）/ディジタル信号0-100%
しゅつりょくしんごう出力ビットアナログ信号	アナログ信号0-5ボルト直流（入力インピーダンス＞2M Q）/ディジタル信号0-100%
消費電力消費電力	4.5ワット
温度範囲温度範囲	5～45℃
材料材料	316ステンレス鋼、316ステンレス鋼、ポリテトラフルオロエチレン
重さ重さ	0.9 kg
表面処理表面処理	5RA

ガス質量流量制御器CL-500D

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