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メール
research@resemtech.com
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アドレス
江蘇省昆山経済開発区百富路88号C 305
製品分類
昆山瑞塞奇精密機器有限公司
概要
関連パラメータ：項目説明SE解像度3.0 nm（30 kV）、高真空モード/10 nm（3 kV）、高真空モードBSE解像度4.0 nm（30 kV）、低真空モード増幅…
製品詳細
関連パラメータ：
| プロジェクト | 説明 |
| SE解像度 | 3.0nm (30kV)，高真空モード/10 nm（3 kV）、高真空モード |
| BSE分解能 | 4.0nm (30kV)，低真空モード |
| 拡大倍率 | x5 ~ x300,000 |
| かそくでんあつ | 0.3 ~ 30 kV |
| 低真空域 | 6 ~ 270 Pa |
| 最大サンプルサイズ | 直径200 mm |
| サンプルテーブル | タイプI II |
| X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
| Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
| Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
| R | 360o 360o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| 最大サンプル高さ | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
| 駆動タイプ | 手動5軸モータ駆動 |
| フィラメント | プレペアタングステンフィラメント |
| 対物レンズライトバー | 可動式4穴対物レンズライトバー |
| じゅうバイアス | 固定比例バイアス、手動バイアス、自動4バイアス |
| 検出器 | 二次電子検出器高感度半導体後方散乱電子検出器 |
| 解析位置 | WD=10mm, TOA=35o |
| せいぎょ | マウス、キーボード、手動つまみ |
| じどうちょうせい | 自動フィラメント飽和、自動4バイアス、自動ガン対中、自動ビームフロー設定、自動合軸、自動焦点非点収差、自動輝度コントラスト |
詳細な説明
1.S-3400 Nは強力な自動機能を有し、自動フィラメント飽和、4バイアス、自動ガン対中、自動ビームフロー設定、
自動合軸オートフォーカスと非点収差、自動輝度コントラストなど。
2.3 kV低加速電圧時に10 nmの分解能を保証する。
3.新型5分割高感度半導体式後方散乱プローブ。
4.S-3400 N II型は5軸モータ台を有し、傾斜角度は-20度~+90度、サンプルは最高80 mmに達することができる。
5.分析サンプルボックスはEDX、WDX及びEBSDを同時に設置することができる。
6.真空システムはタービン分子ポンプを使用し、清潔、高効率
