Regulusシリーズ（超高分解能電界放出走査電子顕微鏡）

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概要

超高分解能電界放出走査電子顕微鏡RegulusシリーズRegulusシリーズの既存機種SU 8240、SU 8230、SU 8220及びSU 8010が再統合され、Regulus 8240、Regulus 8230、Regulus 8220、Re…

製品詳細

超高分解能電界放出走査電子顕微鏡Regulusシリーズ

「Regulusシリーズ」

既存機種のSU 8240、SU 8230、SU 8220およびSU 8010を再統合し、Regulus 8240、Regulus 8230、Regulus 8220、Regulus 8100に派生した

「Regulusシリーズ」は既存機種の観察と分析性能を継承し、SU 8200シリーズの低騒音冷電界放出電子銃*1を搭載し、高安定なビームフローを得ることができる。

電子光学系の最適化により、Regulus 8240/8230/8220は1 kV条件下で0.9 nm、Regulus 8100の解像度は1.1 nmに向上し、観察性能は既存機種と比べて20%程度向上した。

また、超高分解能を十分に発揮するために、倍率も過去の100万倍から200万倍*1に引き上げた。
Regulus 8240/8230/8220/8100はユーザーサポート機能も完備しており、この機能を通じてユーザーは各種の複雑な信号の検出原理を理解しやすくなり、ユーザーが機器の良好な性能を十分に発揮するのを助ける。

Regulus 8240/8230/8220のみ

特徴

「SU 8200シリーズ」を踏襲した冷間発射電子銃*2
電子ビームがFlashing後に出現する高輝度安定領域を安定観察の区間として採用し、低加速電圧条件下で高分解能観察と分析の良好な性能を兼ね備える
既存機種に比べて20%程度解像度が向上
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
汚染が小さく、高真空サンプル倉庫を採用する
エネルギーフィルタ（オプション）を使用して、多種の成分コントラスト*2を観察することができる

極低着陸電圧での高分解能観察