粉末原子層堆積システムALD

型番：AT-200MPlus の（プラズマ強化+熱原子層堆積）

技術パラメータ：

·サイズ（L＊W＊H）：35.5＊38.1＊56.8 cm

·粉末コーティングオプション（容量～10 cm ^ 3まで）

·2インチ×2インチ×3インチまたは2インチウエハ（カスタマイズ可能なチャックと粉末コーティングオプション）をセットできるサンプル

·3つの前駆体ポート（1つのMFC、2つのタンク）、オプションポート×6（最大2つのMFC、4つのタンク）、最大150℃の熱伝導管路（HTキットを180℃まで）

·中空カソードプラズマ（13.56 RF、80 W）付き

·通風前駆体ハウジング

·高温に耐える高速パルスALDバルブ、統合された不活性ガスパージ−標準装備の超高速MFC

·オールステンレスキャビティ、温度範囲は300℃に達することができる

·静的反応モードでは高カバレッジが可能

·PLC制御を統合した5インチディスプレイ

·生涯ソフトウェアのアップグレードを含む

·1 年保修

オプション：真空ポンプ、4ポート、オゾン発生器（AT-03）、ボトルヒーター、QCM,リモートPC制御、ALD前駆体、グローブボックス、HTキット（前駆体〜180°C）、発泡器、粉末スプレー機、加熱チャック（〜450℃）

設備の特徴：

1.デスクトップALD原子層堆積、敷地面積が小さい、

2. 熱型でプラズマ強化機能をアップグレード可能；

3.粉末包装機能を選択することができ、特に電池研究分野の顧客に適している、

4.グローブボックスに直接入れて操作できるほどの体積で、特に電池研究分野のお客様に適しています。

5.操作インストールは極めて簡単で、実験室の異なる人の操作実験に便利である。

応用分野：

特にエネルギー分野での応用を推奨する

1. リチウムイオン電池分野の応用

原子層堆積（ALD）はその共形堆積と簡単で正確な膜厚制御特徴のため、ナノ構造のナノスケール薄膜被覆において巨大な優位性と応用の将来性を持っている。大量の研究により、ALDを用いて電極材料をナノスケールの薄膜で包み、電池材料を効果的に改質し、電池性能を高めることができることが明らかになった。また、ALDは、リチウムイオン電池を製造するための正極、負極、固体電解質材料を合成するために使用することもできる。

2. 太陽電池分野におけるALDの応用

太陽電池分野におけるALD技術の応用は主に以下を含む：①ナノ構造光電極の製造；②電極表面修飾不動態化、③量子ドット又は金属ナノ粒子による電極表面の増感、④色素増感太陽電池と薄膜太陽電池に対してバンド調整を行う。

3. スーパーキャパシタ分野におけるALDの応用

ALD技術は高比容量の電極活物質を製造するだけでなく、ナノ構造を製造し、電極材料の性能を安定させ、向上させることができ、高容量、高安定のスーパーキャパシタの分野で重要な関数を参照してください。

4. 燃料電池分野におけるALDの応用

ALDは燃料電池分野で広く応用されている：金属触媒の成分（例えばバイメタルナノ粒子）、金属ナノ粒子の大きさを調節することによって燃料電池に適した高活性触媒を得ることができ、②ナノ構造体上に金属粒子を堆積して燃料電池のアノードを製造する、③燃料電池の動作温度を下げるために高性能固体電解質を調製する、④電極表面に保護層を形成して電池の安定性と性能を高める。

5. 光電化学分解水分野におけるALDの応用

ALD技術はその成長特性のため、光活性層を製造することができるだけでなく、光電極上に性能増強層または安定層を堆積することができ、光電化学電池の分解水分野に影響するいくつかの難題を解決した。