光学顕微形態輪郭計

SuperViewW光学顕微鏡形態輪郭計は、超平滑から粗さ、低反射率から高反射率までの各種物体表面を正確に測定でき、ナノメートルからミクロン級ワークの粗さ、平坦度、ミクロ幾何学輪郭及び曲率などのパラメータ検出を実現する。この設備は測定精度が高く、操作が簡便で、機能が全面的で、測定パラメータが広くカバーされているなどの優位性を備えており、単一の精密デバイスの検出には時間がかかり、効率的な検出を保障することができる。白色光干渉計専用光源モードにより、SuperViewWは滑らかから粗いまでの多種の精密デバイス表面の測定ニーズに広く適合している。

SuperViewW光学顕微鏡形態輪郭計器具の特徴：

1、白色光干渉計の特殊光源モードは、平滑から粗いまでの各種微細デバイス表面の測定に広く適用できる。

2、サンプルの超平滑凹面円弧走査を完成するために同時に満足する高精度、大走査範囲の需要に対して、中図計器SuperView W 1の複合型EPSI再建アルゴリズムは、伝統的な位相シフト法PSI走査範囲が小さく、垂直法VSI精度が低いという二重の欠点を解決した。自動スプライスモジュールの下では、開始点と終了点を決定するだけで、自動的にスキャンして、その超滑らかな表面領域を再構築し、重なり合う隙間はありません。

SuperViewW光学顕微鏡形態輪郭計製品機能

1.試料測定能力：単一スキャンモードで超平滑〜粗さ、鏡面〜全透明／黒材質などの各種表面の測定需要をカバーできる。
2.単領域自動測定：単片平面試料またはロット試料が測定点を切り替える場合、ワンタッチで自動ストライプ検索、スキャンなどの操作を完了することができる。
3.マルチエリア自動測定：正方形、円形アレイ式マルチエリア測定点の設定をサポートし、ワンタッチでストライプ検索、スキャンなどのプロセスを自動的に実行する。
4.自動連結測定：方形、円形、環状、螺旋式自動連結測定を支持する、画像ナビゲーションを組み合わせることで、測定領域をカスタマイズし、数千枚の画像をシームレスにつなぎ合わせることができます。
5.プログラミング測定機能：測定と分析は同界面操作であり、データ処理と分析ステップを事前設定でき、自動測定と結合してワンタッチ検査を実現する。
6.データ処理機能：位置調整、ノイズ除去、フィルタリング、抽出の4つの処理モジュールを提供する。
7.データ分析機能：粗さ分析、幾何学輪郭分析、構造分析、周波数分析、機能分析の5つの分析能力をサポートする。
8.一括分析機能：需要に応じて処理と分析テンプレートをカスタマイズし、同類のパラメータに対してワンタッチ一括分析を実現することができる。
9.データ・レポートのエクスポート：Word、Excel、PDFフォーマット・レポートのエクスポートをサポートし、画像と数値結果を出力することができる。
10.トラブルシューティング機能：スキャン中の干渉縞画像を保存できる診断モジュールを内蔵。
11.便利操作機能：ジョイスティックを搭載し、全軸位置制御、速度調節、光源輝度調節及び急停止操作をサポートする。
12.環境騒音評価：0.1 nm分解能環境騒音評価機能を備え、外部干渉の振幅と周波数を定量的に測定でき、設備の調整と故障調査に根拠を提供する。
13.エアフロート防振機能：エアフロート防振台座を採用し、効果的に地面振動ノイズを隔離し、測定の高精度を保障する。
14.光源安全機能：無人自動消灯をサポートし、長時間無操作時に自動的に点灯または消灯し、過熱損傷を避け、光源寿命を延長する。
15.レンズ安全機能：二重衝突防止保護――ソフトウェアZSTOPリミットアラーム、ハードウェアは圧力センサーとバネ緩衝構造を備え、衝突時に弾性が後退して急停止し、衝撃を大幅に低減し、レンズと走査軸を保護し、人為的な操作リスクを回避する。

自己研究3 D顕微測定ソフトウェアプラットフォームXtremevision Pro

全自主開発の第2世代顕微鏡3 D測定ソフトウェアプラットフォームは、画像スキャン、3 D分析、映像測定、自動化測定などの4つの大きな機能モジュールを集積し、図Wシリーズ、VTシリーズ、WTシリーズのすべての3 D機器機種を適応させることができ、機種の種類を自主的に識別することができ、2つのモデルは白色光干渉と共焦点顕微鏡の中で自動的にスキャンモードを切り替えることができる。

Xtremevision Proは中図の映像フラッシュ測定分野での成功経験を移植し、顕微映像測定機能を再構築し、ミクロ平面輪郭寸法の点、線間の距離、角度、半径などのパラメータに対して直接測定と自動マッチング測定を行うことができる。

自動mark点識別座標位置決め自動化機能

Mark点映像認識自動座標位置補正、多領域座標点自動測位測定と分析、組み合わせ式で粗さ、輪郭寸法の一括自動測定を完成することができる。

自動分割機能

方形、円形、環状と螺旋形式の自動連結測定機能をサポートし、映像ナビゲーション機能に合わせて、測定領域をカスタマイズでき、数千枚の画像のシームレス連結測定をサポートする。

応用分野の画像

SuperViewW光学顕微形態輪郭計各種製品、部品と材料表面の粗さ、うねり、面形状輪郭、表面欠陥、摩耗情況、腐食情況、空隙隙間、段差高さ、曲げ変形情況、加工情況などの表面形態特徴に対して測定と分析を行った。

一部の技術指標

お知らせ：市場の発展と製品の研究開発の必要のため、本製品の資料の関連内容は実際の状況に応じて随時改訂される可能性があり、予告なくご了承ください。
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