新型ショットキー電界放出走査型電子顕微鏡SU 7000

新型ショットキー電界放出走査型電子顕微鏡SU 7000
−サンプルの各種情報を入手し、高スループット分析を実現することができる−

Schottky電界放出走査電子顕微鏡SU 7000は、複数の信号を収集することによりサンプルの複数の情報を取得する時間を短縮し、高フラックスの観察と分析を真に実現した。

SU 7000外観図

走査電子顕微鏡（SEM）は、試料が励起した二次電子、後方散乱電子、X線などの信号を検出することにより、微細構造から組成成分などの各種情報を得ることができるため、ナノテクノロジー、半導体、電子デバイス、生物、材料などの多くの分野に広く応用されている。SEMの応用範囲が拡大するにつれて、観察時間の短縮、信号の迅速かつ効率的な収集に対して更なる需要を提出した。
SU 7000は新しい設計の検出器を採用し、二次電子信号、後方散乱電子信号の検出と分離能力を大幅に向上させた。以前は得られた信号に基づいてサンプルとレンズの間の距離（動作距離／以下WDと略称する）を調整して、最適な観察と分析条件を設定しなければならなかったが、SU 7000は新開発のサンプル倉庫と検出器システムを通じて、WDを変更することなくより効率的に各種信号を受信することができ、サンプルの観察と分析の時間を短縮し、テスト効率を高めた。
さらに、SU 7000は同時に6チャンネルの表示インタフェース（前世代モデルは4チャンネルしか同時に表示できない）を配置し、SEM制御システムをさらにアップグレードし、信号取得速度を大幅に向上させ、これによりサンプルの高スループット観察を実現した。
また、超大サンプル倉庫を標準装備し、付属品インタフェースを増設し、各種サンプルの観察と分析に適している。
日立ハイテクノロジーズは8月5日（日）～8月9日（木）に米国メリーランド州で開催される「Microscopy&Microanalysis」および9月5日（水）～9月7日（金）に幕張展示センター（千葉県千葉市）で開催される「JASIS 2018」でこのSU 7000を展示し、年間世界販売台数は150台に達する見込みだ。
日立ハイテク科学システム事業部は、2020年に電子顕微鏡業界で世界一になることを中期戦略目標としており、今後も製品開発とマーケティングを全力で推進し、世界の製造業に更なる貢献をするよう努めていく。先進的で最先端の事業革新型企業として、今後はハイテクとソリューションを提供する世界一流企業を目指し、常にお客様の立場に立ち、お客様と市場のニーズに迅速に対応していきます。

【主な特徴】
1.同じWDの条件下で、二次電子、後方散乱電子観察とX線分析を同時に実現できる
2.最大6チャンネルの検出と表示を同時に実現できる
3.最大画素10240 x 7680では、画像データも得ることができる
4.同レベル*デバイス内で最大18個のアクセサリインタフェースを構成可能
5.最低300 Paの低真空モードをサポート（オプション）
*空間分解能は1 nm/1 kV以下

【主な仕様】

キーコンセプト

1. 多用途イメージング機能
   SU7000は,幅広い視野のイメージングからサブナノメートル構造やその間のすべてのものを可視化するまで,広範囲なSEMニーズに応えるために複数の信号を迅速に取得することに優れています.
   新しく設計された電子光学と検出システムの組み込みは,複数の二次電子とバックスパタード電子信号を効率的に同時に取得することができます.
2. マルチチャンネルイメージング
   SEMに搭載された検出器の数は増えており,収集されたすべての情報を効果的に表示する必要があります.
   SU7000は最大6つの信号を同時に処理,表示し,保存することができ,情報収集を最大限にすることができます.
3. 様々な観測技術
   サンプルチャンバーと真空システムは:
   ・大型サンプルサイズ
   ・様々な軸でのサンプル操作
   ・可変圧力条件
   ・低温条件
   ・加熱と冷却の現場観測
4. マイクロ分析
   電子ガンには,様々なマイクロ分析アプリケーションを収容するために最大200nAのビーム電流を提供するショットキーエミッターが装備されています.
   サンプルチャンバーとポートレイアウトは,EDX,WDX,EBSD,カソドルミネセンスなどを含む複数の分析オプションを組み込むように設計されています.
   数多くの分析アクセサリーを組み合わせたSU7000は,複数の分野の技術を単一のプラットフォームに統一します.

イメージングパフォーマンス

情報取得の強化

シングルスキャンマルチシグナルイメージング

標本: 有機コーティング金棒

スマート氏とジェさん化学部（Mr. Smart and Ms. Je Chemistry Dept.）
ヴァッサー 大学

表面微構造情報（UD）、表面コーティング（MD）、および全体的な地形情報（LD）のための同時画像取得。加速電圧: 1 kV

直感的なグラフィカルユーザーインターフェース

強化された信号表示

• カスタマイズ可能な表示モード。
• シングルモニターとデュアルモニターの設定
• 最大4チャンネル（シングル）および6チャンネル（デュアル）の同時画像表示。
• 光学ステージナビゲーションのためのチャンバースコープとSEM MAP。

非常に柔軟な画面レイアウト

ソフトウェアは,チャンバースコープまたはSEM MAPを含む1,2,または4つの信号を単一のモニターに表示することができます.
さらに,操作パネルは画面のどこでもサブメニューを表示するようにカスタマイズできます.

デュアルモニター

最初のモニターは専用画像ディスプレイとして使用することができ、第二のモニターは操作のために使用することができます。
5つの検出器画像（UD、LD、UVD、MD、PD-BSED）と鋼材試料の非金属含み物のSEM MAPが表示されます（左）。
画面は,操作パネルメニューとサンブネイル画像ウィンドウを1つの画面 (右) に表示します.
デュアルモニター構成は、拡張されたw で生産性の向上をサポートします

拡張可能な観測と分析

大型試料室および大型ステージ

標本室は,高さ φ 200 mm または 80 mm の高い標本と 18 つの付属ポートを収容できます.大型ステージは135 mm (X) x 100 mm (Y) を移動し、最大 2 kg の試料を受け入れることができます。^(*)大型サンプルまたは可変タイプのサブステージは,前開きの大型ステージドアに簡単に取り付けることができます.

(*) 0°傾斜

カメラ ナビゲーション^(*)

左：部屋内に装備されたカメラによって撮影されたサンプルの写真。
右：ナビゲーションのために SEM MAP 画面にカメラ画像を転送します。

カメラナビゲーション機能は,光学画像をターゲット観測領域と相関付けます.
サンプルチャンバーに設置されたカメラは,サンプル導入時にサンプル画像をキャプチャします.画像はグラフィックドライブされたナビゲーションインターフェースのために SEM MAP 画面に転送されます.
カメラナビゲーションは最大 φ 100 mm の標本をサポートします。

(*)

カメラナビゲーション機能は任意です

ダイナミックな観測を可能にする検出システム

SU7000は、様々な環境条件下の観測をサポートします。様々な検出器^(*)UVDやMDなどは、PD-BSEDに加えて、低真空条件で観測するために選択できます。

低真空条件下の検出器の選択
標本: 金属酸化物付きの標本
左：MD（Backscattered Electron）画像
右：UVD（SE画像）
酸化物分散と分分層状態はそれぞれ観察されます。

左：30ms x 64フレームのスキャンレートで伝統的なPD-BSED応答
右: SU7000 PD-BSED 画像,現場観測能力を拡大するための応答と画質の改善を示す