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Gaosmo (Chengdu) International Trade Co., Ltd

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マイクロ分光膜厚測定器

ネゴシエーション可能更新05/07

モデル

メーカーの性質: 生産者

製品カテゴリ

原産地

オンラインコンサルティング

概要

顕微分光膜厚測定器$r$n非接触amp;amp;amp;amp;#183;非破壊amp;amp;amp;amp;#183;顕微鏡、ピント合わせ、1秒測定完了●OPTMシリーズ顕微鏡分光膜厚計は代替可能な偏光解析装置である

製品詳細

マイクロ分光膜厚測定器

非接触・非破壊・顕微鏡、焦点合わせ、1秒測定完了●OPTMシリーズ顕微鏡分光膜厚計は偏光解析器の代わりに、膜厚、屈折率n、消衰係数k、絶対反射率を試験する新型の高精度、高価格比の分光膜厚計である。各種光透過性フィルム層の試験に適用し、透明基板に対して裏面反射を除去することができ、それによって「真実反射率、膜厚」試験の目的を達成することができる。また、ソフトウェアの操作が簡単で、使いやすく、複雑なモデリングプロセスが簡略化されています。

●非接触、非破壊式、測量ヘッドは顧客システム内に自由に統合できる

●初心者でも簡単に解析モデリングできる初心者解析モード

●高精度、高再現性紫外から近赤外帯域内の絶対反射率を測定し、多層薄膜厚、光学定数（n：屈折率、k：消衰係数）を分析できる

●単一点合焦加測は1秒以内に完了

●顕微分光下の広範囲の光学系（紫外〜近赤外）

●独立試験ヘッドは各種inlineカスタマイズニーズに対応

●最小対応spot約3μm

測定項目

●絶対反射率解析

●多層膜解析（50層）

●光学定数（n：屈折率、k：消衰係数）

膜やガラスなどの透明基板サンプルは、基板内部の反射の影響を受けて正確に測定できない。OPTMシリーズは対物レンズを使用し、内部反射を物理的に除去することができ、透明基板でも高精度な測定を実現することができる。また、光学異方性を有するフィルムやSiCなどのサンプルについても、その影響を受けることなく、上面のフィルムを単独で測定することができる。

（第5172203号）
显微分光膜测厚仪

適用範囲

●半導体、複合半導体：シリコン半導体、炭化ケイ素半導体、ガリウム砒素半導体、レジスト、誘電率材料

●FPD：LCD、TFT、OLED（有機EL）

●資料保管：DVD、磁気ヘッドフィルム、磁性材料

●光学材料：フィルター、反射防止膜

●平面ディスプレイ：液晶ディスプレイ、薄膜トランジスタ、OLED

●フィルム：ARフィルム、HCフィルム、PETフィルムなど

●その他：建築用材料、接着剤、DLC等

OPTM-A1	OPTM-A2	OPTM-A3
波長範囲	230 ~ 800ナノメートル	360～1100ナノメートル	900～1600ナノメートル
膜厚範囲	1nm~35μm	7nm~49μm	16nm~92μm
測定時間	1秒/1点以内
光径の大きさ	10μm（最小約3μm）
感光素子	でんかけつごうそし	インジウムガリウム砒素
光源仕様	重水素ランプハロゲンランプ	ハロゲンランプ
サイズ	556（W）X 566（D）X 618（H）mm（自動XYプラットフォーム型の本体部分）
重さ	66 kg（自動XYプラットフォーム型の本体部分）

代理ブランド：CCSシャープライトSEN日森、EYE岩崎、REVOXレボークス、SERICソレイク

SONICソニック、SANKO三高、NEWKON新光、NPM日脈、SUGIYAMA杉山

NSジャパンサイエンス、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機、SIBATA柴田

優位ブランド：USHIO牛尾、TOPCONトプコン、FUNATCH船越竜、ORC欧阿西、HAYASHI林時計

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科学研究、TOKYO DENSOKUエレクトロカラー、KKIMAC

S-VANSスワン、ORIHARA折原、LUCEO魯機欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

ANDアイアンテ、T&Dテント、JIKCO吉高、DKK-TOA東亜電波、OKANO岡野

IMVアイメマイクロ、MITUTOYO三豊、KYOWA共和、ONOSOKI小野、SANEI三栄

HEIDON新東、KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基

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