概要

MINI-X 1-Y 1-Z 1シリーズの6軸光ファイバ結合プラットフォームは、光ファイバ結合環節に対して設計され、革新的にART 130シリーズ大行程運動台（XYZ軸行程は顧客のニーズに応じてカスタマイズ可能）の上に、3軸マイクロ精密調整機構を集積し、「大範囲粗調整+ナノスケール精密調整」の一体化操作を実現し、各軸の繰り返し位置決め精度は#177;100 nm以内。製品は圧倒的多数の光通信モジュールの応用に適応し、精度が高く、安定性が高く、性価比が高い産業化集積優勢を有する。

製品詳細

MINI-X 1-Y 1-Z 1シリーズ6軸光ファイバ結合プラットフォーム専門は光ファイバー結合環節に対して設計し、革新的にART 130シリーズ大行程運動台（XYZ軸行程は顧客のニーズに応じてカスタマイズ可能）の上に、三軸マイクロ精密調整機構を集積し、実現「広範囲粗調整＋ナノスケール精調整」一体化操作により、各軸の繰り返し位置決め精度は±100 nm以内に達することができる。製品は圧倒的多数の光通信モジュールの応用に適応し、精度が高く、安定性が高く、性価比が高い産業化集積優勢を有する。

従来の圧電マイクロテーブル調整案とは異なり、自己研磨リニアモーターと交差ローラガイドを使用して、MINI軸の微動ストロークは±1 mm、運動整定時間は200μm@±50 nm@30 msに達することができる。MINI-X 1-Y 1-Z 1シリーズ6軸光ファイバ結合プラットフォーム超高精度でコンパクトな体積、より軽量で幅広いストロークで、頻繁で高速で広範囲な往復運動が必要な結合シーンに適しています。

MINI X軸整定速度

MINI Y軸整定速度

MNI Z軸整定速度

軸名	十、	Y	Z	MINI-X	ミニY	MINI-Z
スケジュール	60mm	60mm	35 mm	1 mm	1 mm	1 mm
でんしぶんかいのうどほうしきのうかいぞうどほうしきのうかいぞうどほうしきのうかいぞうどほうしきのうかいぞうどほうしきのうかいぞう	5nm
定位精度	±250nm	±250nm	±250nm	±200ナノメートル	±200ナノメートル	±200ナノメートル
繰り返し位置決め精度	±100nm	±100nm	±100nm	±100nm	±100nm	±100nm
直線度	±1.5μm	±1.5μm	±2μm	適用不可	適用不可	適用不可
平面度	±1.5μm	±1.5μm	±2μm	適用不可	適用不可	適用不可
おんきょうのたかさ	10エーカー/秒	10エーカー/秒	10エーカー/秒	適用不可	適用不可	適用不可
ヨーイング		10エーカー/秒	10エーカー/秒	適用不可	適用不可	適用不可
最小ステップ	50ナノメートル
位置決め安定性	±50nm	±50nm	±50nm	±50nm	±50nm	±50nm
運動整定時間	/			200ミクロン @±50nm@30ms	200ミクロン @±50nm@30ms	200ミクロン @±50nm@30ms
mini軸負荷質量	500グラム
最大速度	500mm/s	500mm/s	500mm/s	50mm/s	50mm/s	50mm/s
プラットフォーム重量	11 kg
プラットフォームマテリアル	アルミニウム
平均あんていうんどう時間	27,000時間

備考：

（1）適合−ASフィードバック、線形増幅器、

（2）空負荷、対応する電力の増幅器を配置する必要がある、

（3）デフォルトテストポイントの位置はテーブルの上25 mmである、

（4）残りのストロークはカスタマイズできる。

MINI軸パラメータ

軸名	MINI-X	ミニY	MINI-Z
スケジュール	1 mm	1 mm	1 mm
でんしぶんかいのうどほうしきのうかいぞうどほうしきのうかいぞうどほうしきのうかいぞうどほうしきのうかいぞうどほうしきのうかいぞう	5nm
定位精度	±200ナノメートル	±200ナノメートル	±200ナノメートル
繰り返し位置決め精度	±100nm	±100nm	±100nm
最小ステップ	50ナノメートル
定位稳定性	±50nm	±50nm	±50nm
运动整定时间	200μm@±50nm@30ms	200μm@±50nm@30ms	200μm@±50nm@30ms
ふかじゅうりょう	500グラム
最大速度	20mm/s	20mm/s	20mm/s
持续推力	8.4N
ピークスラスト	66.5ニュートン
プラットフォーム重量	1.3 kg
プラットフォームマテリアル	アルミニウム
へいきんあんていうんどうじかん	27,000時間

備考：

（1）適合−ASフィードバック、線形増幅器、

（2）空負荷、対応する電力の増幅器を配置する必要がある、

（3）デフォルト試験点位置はメサ上25 mmである。

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