Logosolウェハプリアライナ、エッジ処理光学機器

Logosolウェハプリアライナ、エッジ処理光学機器

張経理：I 872 I 868549（微信同号）

Logosol LPA 68 EH-3-REHV 1-S 38-B-R 900 V-LH 58ウェハプリアライナ、エッジ処理

Logosolエッジ処理プリアライナ

革新的な自主設備は、ゼロ挟持力の受動エッジ接触技術を採用し、Logosolエッジ挟持プリアライナ技術の代替案であり、75 mmから300 mmの対象を処理する際に、ウェハが応力の影響を受けず、大きな清浄度を維持することを確保する。標準モデルと高精度モデルを提供します。

迅速な交換

高スループットのプリアライナは、独自の設計に基づく迅速な交換機能を持ち、ピンレベル以下でウェハクランプの搭載を可能にする。

Logosolウェハプリアライナ、エッジ処理光学機器

Logosolプリアライナの選択：

米国Logosol LPAシリーズウェハプリアライメントプロセッサLPA 312-3

革新的な高性能オールインワン設計により、外部コントローラと相互接続ケーブルを排除し、プラグイン互換性を維持

超低慣性ブラシレスモータにより駆動され、安定かつ即時な応答を実現する

の走査電子機器は、異なるウェハサイズ間の機械的再配置を必要とせずに、透明、半透明、不透明な物体を検出することができる

運動制御ソフトウェアには、さまざまな半導体プラットフォームとの互換性とインタフェースを可能にする包括的な一般的なコマンドセットがあります。

一般的な整列サイクル時間は4秒未満で、大きなシステムスループットを実現するのに役立ちます

Logosolの長年にわたる技術と高い標準的な信頼性は、業界で広範なプリアライナシリーズの基礎である。Prealigners製品シリーズは、45 mmから480 mmのオブジェクトの処理をサポートし、透明から透明までの透明度レベルを備えています。Logosol統合設計と多機能制御ソフトウェアは、さまざまな半導体プラットフォームとの直接的な互換性とインタフェースを実現しています。