Logosolエッジとプリアライナエッジテーブル光学機器

Logosolエッジとプリアライナエッジテーブル光学機器

連絡張経理：I 872 I 868549

Logosolの長年の試練に耐えた技術と信頼性の高い基準は、その広範なシリーズプリアライナの基礎である。Prealigners製品ファミリーは、透明度が透明でないか透明でないかにかかわらず、45 mmから480 mmの範囲の物体の処理をサポートしています。Logosol独自の統合設計と多機能制御ソフトウェアにより、さまざまな半導体プラットフォームとプラグアンドプレイの互換性とインタフェースを実現できます。

📦二、主要製品シリーズ及び型番

LOGOSOLプリアライナは、アプリケーションシーンごとに3つのシリーズに分類されます。

1.LOGOSOLエッジ処理シリーズ（Edge-Grip）

• 技術的特徴：

• 受動エッジ接触技術、ゼロ機械応力、ウエハ損傷を避ける。

• 透明度のサポート不透明から完全透明へのウエハ1。

• 適用サイズ：75 mm-300 mmウェハ。

• 標準モデル：
  LPA6EH-3,LPA8EH-3,LPA68EH-3,LPA8ET-3,LPA12ET-3,LPA812EH-3。

• 適用シーン：炭化ケイ素／窒化ガリウムウエハ製造、高潔度要求の化合物半導体生産ライン。

2.LOGOSOL独立式シリーズ（Standalone）

• 技術的特徴：

• スタンドアロン処理正方形、二層基板及び円形ウエハ、45 mm-480 mmの超大型サイズ範囲に対応しています。

• 機械的な再配置を必要とせず、ソフトウェアでサイズを切り替え、フレキシブルな生産性を向上させる。

• LOGOSOLモデル：
  LPA26-3,LPA38-3,LPA58-3,LPA312-3,LPA812-3,lpa121-3。

• 適用シーン：研究開発実験室、マルチサイズウエハ試作ライン、光起電力基板の位置決め。

3.LOGOSOL組み込みシリーズ（Embedded）

Logosolエッジとプリアライナエッジテーブル光学機器

• 技術的特徴：

• 高速ウェハ伝送システムの最適化、低コスト集積センターの計算と角度位置決め機能に特化している。

• 高精度オプションとカスタム治具サイズを提供し、主流の産業用ロボットと互換性がある。

• LOGOSOLモデル：
  LPA25-1E,LPA38-1E,LPA58-1E,LPA312-1E,LPA812-1E,lpa121-1E。

• 適用シーン：半導体計測装置（例えば日立CD-SEM）、自動ウェハ搬送システム改造

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