LAUDA/ローダSemistat熱電式プロセスサーモスタット

Semistat熱電式プロセスサーモスタット

LAUDA−Semistat熱電の温度制御システムはプラズマエッチングプロセスに安定した再現性を提供する温度制御システムである。静電チャック（ESC）の温度を系統的に動的に制御し、任意のエッチングプロセスで使用することができる。熱電温度制御システムの設計の基礎はパルチザン原理に基づく温度変換である。これらの原本は迅速かつ正確な温度制御を実現することができ、現在のデバイスの生産サイズがますます小さくなるという要求を満たしている。

・過酷なプロセスに迅速かつ正確な温度制御を提供する

・圧縮機と冷媒のない低エネルギー消費システム

・工業分野は敷地が小さく、床下に置くと敷地スペースの要件がない

・極めて低い熱伝導性液体充填量

上海驪葆科学器械有限公司はいくつかの実験室及び工業器械分野の欧米有名メーカーの中国地区代理店であり、主なブランドは：

ドイツLAUDA加熱冷凍恒温循環器、ドイツDIEHMガラス反応釜、PUR接着剤反応装置、スイスPC-Laborsystem惑星撹拌器、ドイツBOLA/SICCOポリ四フッ素部品パイプ/乾燥箱、イギリスCOWIE PTFE撹拌、温度測定容器などの部品、HAMILTONハミルトン注入針、微量注射器、また、各種のタイプが高低温水浴/油浴などの多種*欧米製品を輸入し、実験機器の需要に高品質と専門化のシステムソリューションを提供している！

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