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住所
遼寧省瀋陽市皇姑区黄河北通り56-39号
Shenyang Jiaye Scientific Instrument Co., Ltd
遼寧省瀋陽市皇姑区黄河北通り56-39号
クリーンエリア用カノーマ0.1μ米パーティクルカウンタ3950-00
適用範囲
装置装置にセンサとして組み込む
クリーンルームのクリーン度管理
高画質領域の管理
視認性、大画面、タッチパネルディスプレイを重視し、付属ソフトウェアにテストデータを表示できる
デュアルチャネル:0.1μ米 0.3μ米
定格流量:2.83 umin
超小型化設計を実現することにより、粒子カウンタ埋め込み装置機器を可
0.1 um測定
4.3インチカラー液晶
RS-485、Ethernet、USBを標準装備
小型化!重量大幅軽量化
従来の寸法では半導体製造などの装置に組み込むことが困難である、
本製品は圧倒的な小型化により、センサの機器への組み込みが容易になりました。
クリーンエリア用カノーマ0.1μ米パーティクルカウンタ3950-00
品名(めい) |
ダスト粒子計数器 |
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型(かた)号 |
3950-00 |
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りゅうしそくてい |
テスト方法 |
ひかりさんらんほう |
りゅうけいチャネル |
2粒子径(0.1、0.3μm) |
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ていかくりゅうりょう |
0.1 CFM(2.83 L/分)、精度±5%(JIS B 9921及びISO 21501-4準拠) |
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測定時間 |
6秒~99分59秒(1回の測定時間) |
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かんかくじかん |
6秒~99分59秒(測定周期) |
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サンプリング回数 |
1~999回または連続テスト |
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場所の設定 |
99サイト |
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測定方法 |
繰り返し、単一、連続、計算 |
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測定データ表示時間 |
1~10秒 |
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測定データ表示 |
累積値∑差分値△及び柱状図 |
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最大測定可能濃度 |
1000000個/m³ |
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けいすうりつ |
50±20%(最小測定可能粒径付近のPSL粒子に対して) |
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偽カウント |
1個/35 min未満 |
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粒径分解能 |
15%以下(0.3μmのPSL粒子に対して) |
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気源(みなもと) |
内蔵ポンプ |
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ディスプレイ |
4.3インチカラーLCDタッチスクリーン |
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つうじんきのう |
本体 |
USB(Hostはプリンタ、USBメモリ用、DeviceはPCとのリンクに使用) |
データストア |
メディア体 |
メモリ |
数量、フォーマット |
最大10000個、CSVフォーマット |
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表示言語 |
英語、日本語 |
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電気源(みなもと) |
AC100~240V |
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使用環境 |
本体 |
15 ~ 35℃、0 ~ 85%RH(結露なし) |
外形寸法 |
幅150ミリX高さ163ミリX奥行き228ミリ |
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重い量 |
3.4 kg |
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クリーンエリア用カノーマ0.1μ米パーティクルカウンタ3950-00

