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メール
ahbeq888@163.com
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電話番号
17305697718
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アドレス
安徽省合肥市宜秀路6号貝意克肥西基地
製品分類
安徽貝意克設備技術有限公司
概要
PECVD-III-500 A-D 210はインテリジェントなPECVDシステムである。この設備は主に4つの大部分に分けられる：多温区管式炉、無線周波数モジュール、ガス回路システム、及び自動化制御ソフトウェア集積システム。
製品詳細
この設備は主に4つの大部分に分けられる：多温区管式炉、無線周波数モジュール、ガス回路システム、及び自動化制御ソフトウェア集積システム。
1、オープンヒータ
加熱炉は超軽量アルミナ繊維材料を採用し、K型熱電対を配合し、6点で温度をコントロールする。設備の昇降温度制御が柔軟で、加熱炉は電動で開くことができ、顧客が修理反応管を交換するのに便利である。
2、気道システム
質量流量計によって多重気体を正確に制御して異なる流量で混合比を行い、他の1つはバブラーを経て反応管内に入ることができる。
3、無線周波数ユニット
1000 W高性能無線周波数グローは均一であり、反応チャンバ全体をグロー発生領域にすることができる。
4、知能制御システム
インテリジェントPIDファジィ制御を採用し、30段プログラム可能制御。超温和切断偶数警報機能を有する。
さいこうおんど |
1200℃ |
継続動作温度 |
≤1100℃ |
しょうおんそくど |
≤10℃/分 |
温度制御精度 |
±1℃ |
ヒータエレメント |
抵抗線 |
ねつでんつい |
K型 |
温度制御方式 |
ファジィPID制御と自己調整、人工知能化30段プログラマブル制御、超温和断続偶数警報機能、マンマシンインタフェースプラスPLC制御、15インチLCD制御、デジタル制御計器ダブル制御、工業知能制御温度計とソフトウェアを用いてダブル制御を実現する |
かねつぜんでんりょく |
≤15KW |
加熱領域の寸法 |
300+300+300ミリメートル |
むせんしゅうはでんりょく |
1000W |
デバイスサイズ |
2550*850*1600mm |
装置の重量 |
約600 KG |
