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概要

IRG 080は革新的なイオン化真空計の概念(熱陰極放出電子が直線経路でファラデーカップに入る)に基づいており、10-8 mbarから10-4 mbarの範囲内の基準基準に適している。

製品詳細

IRG 080イオン化真空計

イオン基準真空計IRG 080は、真空システムにおいて全圧を正確に測定するために開発された真空センサー。IRG 080は革新的なイオン化真空計の概念(熱陰極放出電子が直線経路でファラデーカップに入る)に基づいており、10-8mbarから10-4mbar範囲内の基準。

とても良い短期反復性と再現性。この計器は計量と校正の理想的な解決策である。IRG 080はIRC 081によって表示および操作ユニットによって接続および制御される。


優位

1、高真空と超高真空の範囲内で高い測定精度が要求される応用のために開発された

2、電極システムの配置はISO TS 6737規格に適合する

3、相対ガス感度は予測でき、不確実性が小さく、すべてのガス種類の真の圧力を測定できる

4、電子放出は安定であり、ESDやX線効果の影響を受けない

5、繰り返し可能で、輸送しやすい

6、ベーキング温度は165°C(耐温ケーブル付き)に達することができ、コネクタユニットを持たない場合、ベーキング温度は400°Cに達することができる


運用ユニット

イオン基準計コントローラIRC 081


リファレンス基準

窒素ガスの精度が1未満

予測可能なガス感度、誤差は極めて小さい(<1.5)

本当の総圧力測定

非常に良いの短期重さ複素性(<1%)と再現性(<1)


電子はカソード(左側)から離れ、アノードによって200 eVまで加速され、その後イオンコレクタによって集束される。電子経路の長さは良好な特性を持つため、機器の感度は予測可能である。アノードゲート内で電子が発生したイオンはコレクタに加速され、電流形式で測定される。アノードゲート外で発生したイオンは偏向器に捕捉される。

IRG080电离真空计

フルコース1つ

イオン基準コントローラIRC 081による操作と表示画面

ユーザがIRG 080の機器パラメータを制御可能

IRC 081ユーザインタフェースソフトウェア(LabVIEWTM)に設定と測定値を表示する

データとパラメータ記録機能

IRG080电离真空计


IRG080电离真空计