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概要

IM 540真空計コントローラは、10〜12 mbarと大気圧の間で完全な真空測定と制御を提供する多機能イオン化真空計コントローラである。IM 540は、用途やユーザーのニーズに応じて、4つの異なる真空測定原理であるピラニ真空計、容量式ダイアフラム真空計、ベアド・アルバートBayard-Alpert真空計、抽出式真空計を組み合わせたワンストップソリューションです。このコントローラは、複雑なプロセス制御システムに確実かつ完全に統合できます。

製品詳細

IM 540真空計コントローラ10~12 mbarと大気圧の間で完全な真空測定と制御を提供する多機能イオン化真空計コントローラです。IM 540は、用途やユーザーのニーズに応じて、4つの異なる真空測定原理であるピラニ真空計、容量式ダイアフラム真空計、ベアド・アルバートBayard-Alpert真空計、抽出式真空計を組み合わせたワンストップソリューションです。このコントローラは、複雑なプロセス制御システムに確実かつ完全に統合できます。

IM540真空计控制器


優位

1、IE 414(Bayard-Alpert)とIE 514(抽出器)熱陰極イオン化ゲージの動作をサポートする
2、PSG 5 xx(ピラニ)、PCG 55 x(ピラニ-容量式ダイアフラム)、CDG(容量式ダイアフラム)能動真空計シリーズの2つの能動真空計を接続して操作することができる
3、操作が簡単で、メニューガイド表示によりパラメータ、センサ、または一般的な設定が可能
4、RS 232通信インタフェースを内蔵し、PROFIBUS DPインタフェースボード(IF 540 P)を選択可能

6、高解像度-16ビットA/D変換器
7,2つのプログラマブル0〜10 Vグラフレコーダ出力

仕様

そくていチャネル 4
表示 液晶ディスプレイ、LEDバックライト
表示レート 4 s-1
測定範囲 1 x 10-12…1,100 mbar
測定単位(オプション) mbar, Torr, Pa, hPa, Micron, V
測定範囲切り替え
グラフレコーダ出力 対数0~10 V(1 V/分)または線形0~10 V
インタフェース RS 232 C、PROFIBUS(IF 540 P付き)
しきい値の切り替え
(1回の操作または間隔)
2フローティングスイッチング接点付き
電源 90 ..264 V(交流)
頻度 47 ..63ヘルツ
うんてんおんど 5..+40°C



IM 540真空計コントローラ