IE 414，IE 514熱イオン化真空計

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概要

IE 414、IE 514熱イオン化真空計$r$n$r$nIE 414及びIE 514は、熱陰極イオン化効果に基づく真空センサである。IE 414はBayard−Alpert真空計であり、IE 514は抽気機の原理に基づいている。これらの受動真空計は、IM 540真空計コントローラにより組み合わせて制御される。

製品詳細

IE 414，IE 514熱イオン化真空計

IE 414及びIE 514は、熱陰極イオン化効果に基づく真空センサである。IE 414はBayard−Alpert真空計であり、IE 514は抽気機の原理に基づいている。これらの受動真空計は、IM 540真空計コントローラにより組み合わせて制御される。

陰極放出電流を調整することにより、IE 414の測定範囲は10-2 mbarから10-11 mbarまで、9分割を超える。抽出器の原理を採用したため、IE 514は2×10-12 mbarの測定下限に達することができ、これはそれ自体がX線とイオン脱着効果を減少させたことに起因する。IE 414とIE 514真空計ヘッドは低排気真空システムのために設計されており、非常に高温（400°C）で焼くことができる。耐高温真空ヘッドケーブルキットは、200°C（センサフランジで250°C）を超える高温焼成にも使用することができる。

優位

単独校正のセンシングシステムを採用し、測定精度が高い

交換可能カソード

非常に高い高温焼成温度は400℃に達することができる

IE414

Bayard-Alpertセンシング原理

測定範囲は2×10-11 mbar

カソードエミッタ電流変調（IM 540真空計コントローラと併用）

IE514

ポンプセンサの原理

2×10-12 mbarまでの低測定限界

X線及びイオン脱着効果の顕著な低減