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日立SU 3800タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡

ネゴシエーション可能更新07/04
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概要

日立の次世代高分解能タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡SU 3800は、新しいHexBiasバイアス技術を採用して低電圧性能を大幅に向上させ、同時にアップグレードされた高感度後方散乱検出器と可変圧力検出器はSU 3800の観察能力をさらに向上させた

製品詳細

日立の次世代高分解能タングステンフィラメント走査型電子顕微鏡SU 3800は、新しいHexBiasバイアス技術を採用して低電圧性能を大幅に向上させ、同時にアップグレードされた高感度後方散乱検出器と可変圧力検出器はSU 3800の観察能力をさらに向上させた。SU 3800はまた、IFTフィラメント監視技術、新しい光学ミラーナビゲーション、統合されたエネルギースペクトル、レポート導出などの機能を追加し、その操作もより簡単になった。

主な特徴:

  • HexBiasバイアスタングステンフィラメント電子銃、
  • 優れた高、低電圧性能、
  • 高感度5分割後方散乱電子検出器、
  • 可変圧力二次電子検出器(高、低真空使用可能)、
  • 新しい操作インタフェースとミラーナビゲーション機能、
  • 全自動フィラメント設定とヒンジ、
  • レポートのエクスポートと画像処理、
  • 統合可能なEDS、
  • 簡単で便利なメンテナンス(フィラメント交換ビデオ)、

応用分野:材料科学、生命医学、食品衛生、半導体電子部品、自動車製造など。

主なパラメータ:

電子銃 プレペアタングステンフィラメント
かそくでんあつ 0.3kV – 30kV
解像度 3.0nm@30kV (SE)
15.0nm@1kV (SE)
4.0nm@30kV (BSE, LV)
拡大倍率 5 x–30000 x(ネガ倍率)

7 x–800000 x(ディスプレイ倍率)
プローブ 二次電子検出器、高感度無分割後方散乱電子検出器
可変圧力検出器UVD 2.0*
低真空可変圧力範囲 6 – 650Pa
サンプルテーブル(三軸モータ) X: 0 - 100 mm
Y: 0 – 40 mm
Z: 5 – 65 mm
R: 0 – 360°
T: -20° - +90°