日立レグルス8100冷電界放出走査型電子顕微鏡

ネゴシエーション可能更新07/04

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概要

主な特徴：1.加速電圧減速機能を搭載

製品詳細

主な特徴：
1.加速電圧減速機能を搭載し、優れた低加速電圧イメージング能力、1 kV分解能は1.1 nmに達することができる
2.日立特許E×B技術、溶射を必要とせず、直接非導電サンプルを観測できる
3.電子銃内蔵ヒーターを搭載し、対物レンズ絞りは自己洗浄機能を持つ
4.SEとBSEの任意比率の組み合わせ機能

応用分野：
1.ナノ材料
2.半導体装置
3.高分子材料
4.生物医学
5.新エネルギー

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