日立IM 4000 Plusイオンミル

日立IM 4000 Plusイオン研磨器はアルゴンイオンを利用してサンプルを平面研磨することができ、断面切断することもでき、サンプルを無応力加工する理想的なツールであり、伝統的な切断や機械研磨による変形転位、機械応力やスクラッチ汚染などのサンプルの形態観察と構造分析に与える不利な影響はなく、冷凍機能を通じて熱によって損傷しやすいサンプルを加工することができる。

主な特徴：
1.断面切断を行ってもよく、平面研磨を行ってもよい、
2.加工効率がより高く、断面約500μm/h、
3.プログラム制御間欠式加工、
4.冷房機能により熱により損傷しやすいサンプルの加工が可能

応用分野：
1.LED、PCBなどの半導体業界、
2.シェールガス、
3.高分子材料


ブレード切断方式によるIM 4000 plusイオン研磨断面切断
サンプル：カラー印刷用紙断面（多層構造）
倍率：1万倍


冷房研磨を使用していない冷房研磨を使用している
サンプル：リチウム電池ダイアフラム断面
倍率：2万倍


機械研磨処理後のIM 4000 plusイオン研磨平面処理
サンプル：金線溶接部の断面
倍率：1万倍