Helios 5 レーザー PFIB システム

FIB SEMレーザーツールは、ナノメートル解像度の高スループットミリメートルスケールの横断切断および3D特徴化のためです。

Thermo Scientific はHelios 5 レーザー PFIB システムクラスの中で最高の単色Elstarスキャニング電子显微鏡（SEM）の列とプラズマ焦点イオンビーム（PFIB）とフェムト秒レーザーを組み合わせ、高解像度イメージングおよび分析ツールを作成します。現場ナノメートル解像度で速いミリメートルスケールの特徴化のために前例のない材料の除去率を提供するablation能力。

主要な特徴

素材の迅速な取り外し

ミリメートル規模の横断面で,典型的なガリウム焦点イオンビームより最大15,000倍速い材料の除去です.

正確で繰り返し可能な切断配置

3つのビーム（SEM/PFIB/レーザー）の同じ一致点は,正確で繰り返し可能な切断配置と3D特徴を可能にします.

挑戦的な材料の高スループット加工

非伝導性またはイオンビームに敏感なサンプルを含む。

Helios 5 PFIB プラットフォームのすべての機能を共有

高品質のガリウムフリーTEMおよびAPTサンプル準備と高解像度イメージング機能。

統計的に関連する地下および3Dデータ分析

より短時間でより大きな量のデータを取得します。

深い地下特徴の迅速な特徴化

3D分析のための地下TEMラメラまたはチャンクの抽出。

空気敏感サンプルの快速かつ簡単な特徴化

イメージングおよび横切断のための異なる器具間でサンプルを転送する必要はありません。