ESCALAB QXi X線光電子分光計マイクロプローブ

ESCALAB QXi X線光電子分光計マイクロプローブ高分解能X線光電子分光法とイメージングを提供する多技術表面分析装置

高感度、高解像度定量イメージング、および表面分析の多技術連携能力を組み合わせたThermo Scientific™ ESCALAB™ QXi X線光電子分光器（XPS）マイクロプローブは、分析性能と柔軟性の向上に対するニーズを満たすことができます。

ESCALAB QXi XPSマイクロプローブは、柔軟性と構成性を備えた拡張性と最適化が可能なマルチテクノロジー機器です。それは非常に敏感で、数秒以内に高品質のスペクトルを生成することができます。システム制御、データ収集、処理、レポートは、強力なThermo Scientific Avantageデータシステムにシームレスに統合されています。直感的なEMソフトウェアによって駆動される技術によって保証された結果と生産性。ESCALAB QXi XPSマイクロプローブが有するダブル検出器システムは、優れた空間分解能を有する良質なXPSイメージングも提供する。

ESCALAB QXi XPSマイクロプローブの特徴

モノクロXPS

双晶マイクロ集束モノクロメータは500 mmのローランド円を持ち、アルミニウム陽極（またはダブルモノクロメータオプションのあるアルミニウム銀双陽極）を使用して、テストスポットサイズは200µmから900µmの範囲内で選択可能である。

レンズとアナライザ

ESCALAB QXi XPSマイクロプローブ上のレンズとアナライザシステムは分光学と平行イメージングのために最適化された、単一アナライザ経路は、スペクトル図およびイメージングに使用できるようにするために、同じ計器パラメータ（例えば、通過エネルギー）を意味する。

イオン銃

ESCALAB QXi XPSマイクロプローブは高速、高分解能の深さ分析に2つの選択肢がある：標準EX 06イオン銃、単粒子モードイオンスパッタリングとイオン散乱スペクトルに対して最適化を行った、および単粒子イオン分析、イオンクラスタ分析、イオン散乱分光分析に応用できるオプションの単粒子およびクラスタイオン源MAGCIS。

アラインメントとキャリブレーション

銅、銀、金サンプルを含む標準ブロックは、感度の評価、分析器エネルギースケールの線形度の設定、イオン源のキャリブレーション、X線モノクロメータのキャリブレーション、分析器の変換機能の決定に使用することができる。

サンプルマニピュレータ

コンピュータ制御の5軸高精度変換器（HPT）は、分析のための正確なサンプルアラインメントを実現することができる。新しい自動サンプルロードシステムと組み合わせて使用する場合、サンプルラックの自動交換やプリセット実験ツリーの実行に使用できます。

調製室

ESCALAB QXiの標準前処理室は、加熱/冷却プローブ、イオンガン、高圧ガス室、試料停止装置、ガス入口など、様々な試料調製装置を収容できるポートを有する複合型の試料入口ロックと調製室である。

検出器

ESCALAB QXi XPSマイクロプローブは2つの検出器システムを備えている：1つはスペクトルに対して最適化され、1組の6チャンネル電子増倍器から構成され、もう1つは平行イメージングに使用され、1対のチャンネルプレートと1つの連続位置敏感検出器から構成される。

デジタル制御

ESCALAB QXiのすべての分析機能は、WindowsソフトウェアベースのAvantageデータシステムによって制御されており、必要に応じて分析プロセス全体をリモートで実行できることを意味しています。

サンプルの配置

ESCALAB QXiのサンプル台上のすべての運動軸はAvantageデータシステムによって制御され、機器には高解像度デジタルカメラが取り付けられ、分析位置と正確に整列されている。

しんくうシステム

ESCALAB QXiの分析室は5 mm厚の高導磁合金で構成され、磁気遮蔽効率を最大限に高めるとともに、ターボ分子ポンプとチタン昇華ポンプを用いて分析室を抽気し、分析室の真空度を5 x 10より優れた-10ミリバール。

接続性

測定座標は、専用顕微鏡システムからThermo Scientifc Mapsソフトウェアを介してAvantageデータシステムを導入することで、測定領域をより迅速に識別することができます。表面化学と構造情報を直接比較するために、XPSスペクトルとイメージングデータをMapsソフトウェアに追加することができます。