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中米合弁合肥科晶材料技術有限公司
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加熱型紫外オゾン洗浄機

交渉可能更新12/25
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概要
PCE-22は加熱可能型の紫外オゾン洗浄機であり、その加熱温度は150℃に達することができる。この設備は各種の基板を洗浄することができ、高品質のフィルムを作るために基礎を築くことができる。特にレジストを除去し、表面濡れ性を改善し、SEMTEM,紫外線によるポリマー変性など。$r$n紫外オゾン洗浄は、酸がなく、乾燥して材料に損傷がない原子レベルの洗浄手段を提供し、特にいくつかの有機化合物を除去するのに適している。紫外線ランプは主に2種類の波長の光を発する:185 nmと254 nm。そのうち185 nmの光は空気中の酸素をオゾンに変えることができる
製品詳細

PCE-22は加熱可能型の紫外オゾン洗浄機であり、その加熱温度は150℃に達することができる。この設備は各種の基板を洗浄することができ、高品質のフィルムを作るために基礎を築くことができる。特にレジストの除去、表面濡れ性の改善、SEM&TEMの洗浄、ポリマーへの紫外線改質などに適している。
紫外オゾン洗浄は無酸、乾燥による材料への損傷がない原子レベルの洗浄手段を提供し、特にいくつかの有機化合物の除去に適している。紫外線ランプは主に2種類の波長の光を発する:185 nmと254 nm。そのうち185 nmの光は空気中の酸素をオゾンに変えることができ、254 nmは化合物中の結合(特に炭素炭素結合)を破壊することができる。したがって、この2つの波長の光の組み合わせは有機化合物を効果的に除去することができる。

技術仕様

電源

AC 208~240V,単相50/60 Hz

紫外線ランプ

  • 2波長を発する水銀ランプ
  • 出力:55 W
  • 光を発する波長:254 nmと185 nm
  • 使用寿命:2500時間(当社で紫外線ランプを購入し交換可能)
  • 照射領域:200 x 200 mm

キャビティ&サンプルテーブル

  • ステンレスハウジング
  • サンプリングのための引き出し式サンプルテーブル
  • サンプル台面積310 mmx 320 mm
  • オゾン換気装置はキャビティに取り付けられている
  • サンプル台と紫外線ランプの距離:20 mm-40 mm(調整可能)
  • 試料台は加熱可能であり、zuiは150℃まで高温である
  • 20段の昇降温度プログラムを設定でき、温度制御精度は+/-1℃である
  • デバイスの稼働時間:0.01秒~99.9時間

はいきぐち

  • 直径80 mmの排気口が機器の後端に取り付けられている
  • ゴムチューブを排気口に接続し、オゾンを実験室外に排出してください
  • 機器にゴムチューブは含まれていません

外形寸法

510mm x 350mm x 400mm(W x H x D)

正味重量

28キログラム

品質保証期間

1年間の品質保証期間、終生メンテナンス(紫外線ランプを含まない)

アプリ

  • 分子レベルの汚染物質を除去する
  • 紫外光硬化接着剤
  • 紫外光触媒
  • 酸化PDMS
  • ひょうめんしょうどく
  • エッチング
  • MEMSデバイスの洗浄
  • Si、Ge、GaAs、各種酸化物単結晶基板などの各種基板を洗浄する