5インチ回転CVD管式炉

ろたいこうぞう

• 2層筐体構造を採用し、空冷システムを備えている
• 炉材として高純度アルミナを用いることにより、エネルギー損失を大幅に低減することができる
• 直流モータは石英管を回転させ、その回転速度は0-10 RPMである
• 炉体の傾斜可能角度は30°
• 炉体は操作とサンプルの急速冷却を容易にするためにオープン式に設計されている

かねつりょういき

• 3つの温度領域の全長：600 mm
• 温域1：150 mm（6′）
• 温域2：300 mm（12′）
• 温域3：150 mm（6'）
• 恒温域：450 mm@+/-2℃（3つの温度帯に同じ温度を設定）

• 計器に石英管が1本含まれている
• 尺寸：130 mm O.D. x 120 mm I.D. x 1200 mm L + 60O.D。mm（両端直径）
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• 装置にはステンレス真空フランジ一式（ステンレスニードルバルブが取り付けられている）が含まれている

接続

• 吸気端コネクタ：Φ6.35のジャケットコネクタ
• 排気端継手：Φ12の宝塔ノズル継手

動作温度

• 連続使用温度：1100℃
• zui高作動温度：1200℃<1 h

温度制御システム

• 3つの温度ゾーンは3つの温度制御システムを用いて独立に制御され、いずれもPID方式を用いて調整され、30段の昇降温度プログラムを設置することができる
• 炉体にRS 485インタフェースが取り付けられており、温度制御モジュールを選択して購入でき、コンピュータを用いて炉体の昇温を制御することができる

ねつでんつい

• 3本のOmega K型シース熱電対
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真空泵和冷井

• オイルミストフィルタを搭載した双極スピン真空ポンプを搭載
• 実験中の堆積物による真空ポンプの損傷を防止するために、冷却井戸を選択することができる
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ガス供給システム

• 4チャンネル精密ガス制御システム、質量流量計、タッチスクリーン制御を採用し、同時に1-4種類の異なるガスを通すことができる
• 注意：可燃性爆発性ガスが入っている場合は、設備を通風キャビネットに設置する必要があります
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zui大出力

4KW

電圧

208−240 V単相（30 Aの空気スイッチが必要）

品質保証

1年間の品質保証期間、生涯メンテナンス（炉管、シールリング、加熱素子を含まない）

品質認証

• CE認証
• すべての電気部品（>24 V）がUL/MET/CSA認証を取得
• お客様が認証費用を出す場合、当社は単一設備がドイツTUV認証またはCAS認証を通過することを保証する
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正味重量

130キロ

応用上の考慮事項

• この設備は当社の連続供給装置と協力して連続供給の効果を達成することができる
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警告

• 炉管内の気圧は0.02 MPaを超えてはならない
• ガスボンベ内部の気圧が高いため、炉管内にガスを導入する場合、ガスボンベには減圧弁を取り付けなければならない。当社で減圧弁を選択購入することを提案し、当社の減圧弁の距離は0.01 MPa-0.1 MPaであり、使用時はより正確で安全である
• 炉体温度が1000℃より高い場合、炉管内は真空状態にしてはならず、炉管内の気圧は大気圧と同等にして常圧状態に保つ必要がある
• 炉管に入るガス流量は200 SCCM未満である必要があり、加熱石英管に対する冷たい大気流の衝撃を回避する
• 石英管の長時間使用温度＜1100℃
• サンプル加熱の実験については、炉管フランジ端の抽気弁と吸気弁を閉じることは推奨されていない。ガスバルブを閉じてサンプルを加熱する必要がある場合は、圧力計の表示数に常に注意しなければならない。気圧表示数が0.02 MPaより大きい場合は、事故（炉管の破裂、フランジの飛び出しなど）の発生を防ぐために、直ちにガスバルブを開けなければならない