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HMDS粘着付与塗布機

交渉可能更新02/09
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
HMDS粘着付与塗布機は、均質化前のシリコンシートなどの基板表面にHMDS(ヘキサメチルジシラザン)の層を均一に塗布するために使用される。作用:HMDS処理後のシリコンシートの接触角を下げ、さらにシリコンシート表面に均質なタイムレジストを敷設する難易度を下げ、フォトレジストとシリコンシートの接着性を高め、フォトレジストの使用量を下げる。
製品詳細

HMDS粘着付与塗布機主な技術指標:

1、作業室容積: 250×250×250mm(W×D×H);

2、キャビティマテリアル:SUS316;

3、外フレームマテリアル:Q235A,表面射出成形処理、

4、ワークピースの配置:2層

5、加熱方式:キャビティの下部及び両側を加温し、加熱器を外付けする、

6、作業室温度範囲:常温~ +200℃ ;

7、温度分解能:0.1℃;

8、温度変動度:±0.5℃;

9、温度降下方式:炉による自然温度降下

10、真空度:133、真空到達時間10分

11、薬液容器:1組、容器材質:高ホウ素シリコンガラス、

12、電気 ソース:220V \50±0.5Hz;

13、 率: 3キロワット

HMDS粘着付与塗布機タンク構造:

1、 構造形式:全体式方形ステンレス鋼内胆構造、キャビティ部分、真空システム、電気制御システムからなる。電気制御システムは箱体にあるトップ操作と安全防護に便利である。

試験箱作動室の耐圧方式は内圧方式である、耐圧ケースとして良質なステンレス板を採用(即ち作業室)、降温速度と温度制御の感度を保証し、作業室が低気圧状態で比較的に良い温度均一性を保証する。スタジオの外にハウジングを取り付け、セラミック繊維被覆材の充填、保温性能を増加し、そして試験箱全体の性能を保証することができる、キャビティ内共2階建てせきそうばん

2、箱体内壁材料:ステンレス板(SUS 316)、

3、炉門密封:炉門の密封はカスタム型スカートシリコンゴム密封条を採用し、

4、作業室内の胆外壁に補強筋が溶接されている、

5、箱体の底部に取り付けられている地(ち)足。

しんくうシステム

1、真空ポンプ:かんそうポンプ

2、真空補助部品:主要な真空補助部品はすべて輸入の良質な部品を選択し、例えば:圧力センサー、真空排気電磁弁

3、作業圧力:数字表示。

HMDS補液システム

1、SUS 316カバー

2、高ホウ素シリコン担持容器

3、液不足警報:フロート液位計

4、薬液タンク1本、配管1組

制御システム:

1、温度測定:良質なシースK分度熱電対、

2、圧力測定:圧力センサー、その構造は交換しやすく、取り付けやすい、

3、温度及び圧力制御(界面図は参考に供する):

採用7.0インチカラー液晶タッチ式恒温定圧プログラマブルコントローラ、RS 232またはRS 485コンピュータ通信インタフェースを配置し、コンピュータに接続して記録履歴データを保存することができ、中国語インタフェース、設定温度、圧力を直接表示することができ、箱内の実際の温度、圧力偏差、システムパラメータ、運転曲線、ヒータの動作状態および初期化パラメータのパスワードロックなど、そして試験プログラムの自動運転とPIDパラメータの自己調整機能を有する。運行プログラムの作成はヒューマン対話方式を採用し、設備の全自動運行機能を実現することができる、

計器の特徴:

A.温湿度PID調整及び制御パラメータ自動整定機能を有する、

B.液晶表示を用いて、多種の画面(運転画面、選択画面、運転パラメータ設定画面、設定パラメータ設定画面、プログラムパラメータ設定画面)を表示することができる、

C.温度はK分度熱電対を用いて入力する、圧力データ収集に圧力センサを採用する、

D.豊富な任意演算機能を有し、高品質の制御を実現する、

4、制御デバイスはシーメンス、シュナイダーなどの良質なデバイスを採用し、制御の信頼性を保証する。

5、超温保護音響光学警報装置と自動停電保護装置を設置し、設備が安全運行の目的を達成できるようにする。

6、加熱制御素子:

セキュリティ対策

1、安全で信頼性の高い接地保護装置、

2、独立した作業室の超温保護(温度上限保護)、

3、ヒータ短絡及び過負荷保護;

デバイス使用条件

1、電気源:AC 220 V±10%V、50 Hz±2%、3.2 kva、

2、使用環境温度:5~35℃

3、環境湿度:≤85%R.H、

4、空気品質:高濃度粉塵及び腐食性ガスがない。

、主要材料表

材料名

仕様

生産国/メーカー

ガス源処理


日本SMC

仕切弁/電磁弁/フィルタ/

いくつか

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