じどうてきてきこうしつごうせいき

交渉可能更新02/09

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

自動ディスペンサー、MSC-200 T-D卓上型半自動回転コーティング機は均一性と一致性に対する要求が高い表面コーティング技術に用いられ、レジスト溶液をシリコンシート、リン化インジウム、炭化ケイ素、窒化ガリウム、ニオブ酸リチウム、格子、ITO、マスク版などの基板上に薄膜が形成され、主に6、8寸ウエハ及び方形サンプルに応用される。基材を特定のフォトレジスト、感光塗料またはインクの層に塗布し、取り出した後、ポストベーキングプロセスを行う。

製品詳細

じどうてきてきこうしつごうせいきアプリケーション：

基板を手動で載置する->真空吸着を開始する->基板をターンテーブルに吸着する->自動滴下->回転開放->低回転->中回転数->高回転数->回転停止->縁取り->真空破壊->手動部品取り出し。

じどうてきてきこうしつごうせいき製品特徴：

針筒式滴下法は科学研究と小ロット生産に適しており、配管を洗浄する必要はありません。

全体的に材料をしっかりと使用し、750 W輸入サーボモータ、より大きくて重いサンプルに適している、

吸盤平坦度精密加工平坦研磨、均一性が良く、1%以内に達することができる、

キャビティの液漏れによる設備内部の短絡リスクを回避するために、電気的に独立して本体側面を集積する。

光ゴムフィルターを配置し、洗浄・メンテナンスが便利で、ゴム詰まりによる飛片リスクを回避する。

真空負圧数値表示と低真空警報により、負圧不足による飛片リスクを回避する。

安全対策：

機能	仕様
真空検出	面版にデジタル表示計、低圧アラーム
カバー検出	運転中カバーオープンアラーム
すいこみぼうしこうていこうそうち	真空PUMPに装填する前に、フォトレジスト液の吸入を予防するには定期的な清潔メンテナンスが必要である
でんきせいぎょばこ	側面に位置を置き、液漏れによる短絡リスクを防止

製品仕様：

卓上型半自動回転塗布機	給電電圧	AC220V、50Hz	操作方法	7インチタッチスクリーン
	回転数	20〜10000rpm	滴下方式	手動滴下/自動
	かそくど	350~10000rpm/s	プログラミング	プログラマブル50セット20ステップ
	げんそくど	350~10000rpm/s	きんいつせい	1%
	かいてんそくどぶんかい	1rpm	くうきぬきつぎて	Φ6 mmクイックスピンジョイント
	シングルステップタイム	3000年代	マシン全体の寸法	650mm×500mm×550mm
	基板サイズ	直径≦8インチ（200 mm）	マシン全体の重量	55キロ
	キャビティマテリアル	PTFE の	レジスト容器	ゴムポンプ、圧力タンク、アメリカ針筒
	ビュレット管路	≤3ウェイ（背洗い、縁取りオプション）	コア部品ブランド	SMC、CKD、パナソニック、シーメンス、小金井など
排気システム	真空ポンプ	かんしきかいポンプ
	抽気速度	50L/分
	電力供給電源	AC220V 50/60Hz

12寸ウエハ（均一性＜2%）、角片、ゴムポンプ滴下剤、圧力タンク滴下剤などの多種の滴下方法を提供することができ、異なる生産量の要求を満たし、より多くの需要は相談することができる。

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