卓上型現像機

卓上型現像機MSD-150 D：現像均一性と一致性に対する要求が高い表面処理技術に用いられ、シリコンウェハ、リン化インジウム、炭化ケイ素、窒化ガリウムなどに適している。主に4、6インチウエハ及びパッチに応用する.大学、研究所、企業のお客様に適しています。

8インチ、12インチの卓上型現像機も提供しており、ブロー、バッククリーニングなどの機能の詳細はお問い合わせください。

卓上型現像機MSD-150 D：現像ユニット基板は真空吸引付加四周バッフル固定方式を採用し、輸入サーボモータを採用し、回転速度、加速度、制御精度が高く、繰り返し性が良いことを保証する、給液システムは工場業務又は圧力容器の直接給液方式を採用する。

卓上型現像機MSD-150 D制御システムはタッチスクリーンとPLCによってモードを制御し、デバイスの運転中の各プロセス機能の実行状況をリアルタイムに表示する。自由なレシピ編集、自由な修正、編集、保存、及び試用プロセスレシピの調整などを実現することができる。

卓上型現像機技術仕様：