窒化ケイ素セラミックス基板の空気圧製造装置

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概要

窒化珪素セラミックス基板の空気圧製造装置の用途及び特徴：$r$n窒化珪素セラミックス基板の空気圧焼結成形。$r$n（1）横型構造で、炉体、加熱装置、真空システム、雰囲気制御システムなどからなる。$r$n（2）炉殻材料は16 MnR圧力容器鋼または304ステンレス鋼を用いた。$r$n（3）発熱体は等静圧黒鉛を用い、保温層は黒鉛フェルト、炭素炭素深積繊維複合材料などを用いて作製した。$r$n（4）輸入高圧ガス質量流量計を備え、動的プロセス雰囲気下での安定焼結を実現する。

製品詳細

窒化ケイ素セラミックス基板の空気圧製造装置用途と特徴：

窒化シリコンセラミックス基板の空気圧焼結成形。

（1）横型構造、炉体、加熱装置、真空システム、雰囲気制御システムなどからなる。

（2）炉殻材料は16 MnR圧力容器鋼または304ステンレス鋼を用いた。

（3）発熱体は等静圧黒鉛を用い、保温層は黒鉛フェルト、炭素炭素深積繊維複合材料などを用いて製造する。

（4）輸入高圧ガス質量流量計を備え、動的プロセス雰囲気下での安定焼結を実現する。

（5）高圧雰囲気下での赤外線精密制御炉温度技術、特殊な赤外線パージ構造、最高温度2100℃（2 MPaを超えない）での長期安定焼結を確保する。

窒化シリコンセラミックス基板の気圧製造装置の主な規格：

設計温度2100℃、真空Pa、装填エリアの寸法は（縦横高さ）：400×250×250 mm、500×450×450 mm、1250×500×500 mm、1400×600×600 mm

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