GSL-1800 X-ZF-AM連続式多チャンバ蒸着めっきシステム

製品紹介

GSL-1800 X-ZF-AM連続式多チャンバ蒸着めっきシステム高真空の連続注入可能な蒸発めっき装置であり、主に伝達室と蒸発めっき室の2つの部分から構成され、基板フレームは伝達室とスパッタ室で往復運動を実現でき、周波数調整モータによって制御され、自動同期運転され、かつ往復位置と運動速度を設定でき、両室内に位置決め機能があり、原点リセットを実現できる。特に、Ti、Al、Auなどの酸素に敏感な金属膜及び小分子の有機物の蒸着に適している。本機には4つの蒸着加熱ボートが設置されており、各加熱ボートは独立して蒸着を行うことができ、加熱ボートの上には回転可能なバッフルがあり、そのうちの1つの加熱ボートが蒸着を行う際にバッフルが他の3つのタングステンボートを遮蔽し、蒸着材料間の相互汚染を防ぐ。一部の配置を変更しても有機材料の蒸発めっきを実現することができ、発光素子及び有機太陽電池に関する研究要求を満たすことができ、めっき膜の理想的で性価の高い実験設備である。GSL-1800 X-ZF 4蒸発コーティングキャビティの底部には5つの水冷電極が配置されており、動作中に電極温度が温度が高すぎて溶融せず、ひいては電極を損傷することがないように効果的に保護することができる。本機は金属チャンバを採用し、高い真空度を持ち、真空度は5.0×10に達することができる^-7torr，試料台は試料を加熱することができ、加熱温度は室温-500℃であり、高真空蒸着めっきを行う装置である。

主な特徴

• 伝達室と蒸発めっき室の2つの大部分からなり、迅速で連続的な注入蒸発めっきを実現することができる。

• 真空制御ユニットはすべて1つの制御ボックスに集合している。

• 独立した蒸着電流制御器を採用し、操作が便利で迅速である。

• 真空チャンバには、1つのKF 40横抽気弁（直接前段機械ポンプに接続し、効率を高める）、1つのCF 150シャッタ弁（直接分子ポンプに接続する）、1つのKF 16フランジ（抵抗ゲージを取り付ける）、6つのCF 35フランジ（1つの取り付けイオン化ゲージ、1つの取り付け2芯電極、1つの取り付け膜厚計）の3つの予備が設けられている。

• キャビティ底部には5つの水冷電極が配され、4つの蒸着加熱ボートを支持することができる。

• サンプルテーブルはキャビティの上部に取り付けられている。

• キャビティ内に高分解能の薄膜厚測定器を設置することができ、膜厚測定分解能（アルミニウム）は0.1Åである。

• 循環水冷機を使用することができます。

技術仕様