全自動ディスペンサー

交渉可能更新02/09

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

全自動ディスペンサー製品紹介：$n 1設備名称：全自動乾式ディスペンサー$n 2設備型式：CGST 3100$n 3設備原理：ICP$n 4ウェハサイズWafer size：8 inch（4または6 inch互換）$n 5ウェハ材料Wafer material：Si基（他の材料の場合は明記）

製品詳細

全自動ディスペンサー製品紹介：

1設備名称：全自動乾式脱膠機

2設備型式：CGST 3100

3設備原理：ICP

4ウェハサイズWafer size：8 inch（4または6 inch対応）

5ウエハ材料Wafer material：Si基（他の材料の場合は明記）

全自動ディスペンサーパラメータ:

デバイス本体
デバイスサイズ	L1300×W1190×H1847mm
設備重量	800キログラム
設備電源	AC220V，3P,50/60Hz，5ライン、16 A
ホストソフトウェア	ウィンドウズ 10
ホスト通信	SECS/GEMについて
ホストドライブ	シングル/ダブル
プロセスキャビティ	ICP，シングルキャビティ
マガジンタイプ	オープン（Open cassette）
ウェハ単次処理容量	ひと‐きれ
マニピュレータ	3軸（シングル/ダブルアームオプション）
マニピュレータ	Mapping（オプション）
1時間当たりのスライスアウト量（WPH）	35錠/時間（標準処方1分）
かねつばん	アルミニウム合金、温度制御：50-250℃
プラズマ発生システム
電源タイプ	むせんしゅうはすう
でんげんでんりょく	0〜1000W
電源周波数	13.56MHzの
せいごうき	自動照合
しんくうシステム
プロセスキャビティ	アルミニウム合金
キャビティドア	バルブ
真空管路	全ステンレス鋼管路、及び高強度真空ベローズ
バタフライバルブ	制御圧精度：±50 mtorr
真空管路スイッチ	アングルバルブ
真空ポンプ	ドライポンプ：600 m 3/h
しんくうけい	0.001-10 Torr
キャビティ真空スイッチ	750トル
前段ダクト真空スイッチ	100トーレス
ガスシステム
プロセスガスシステム	キャビネット、モジュール化（GAS BOX）
キャビネットボックスの材質	ステンンレス鋼
キャビネット排気	負圧、酸列
キャビネット構成	フィルタ、手動弁、流量計、空気圧弁、差圧計、調速弁、インターロックスイッチ
ガス回路
ガス回路1	オ2 5SLM
ガス回路2	N2 1SLM
ガス路3	CF4 100SCCM
ガス路4	4%H2/N2の1SLM
ガス路5	N 2低速/急速破砕真空

より多くのニーズは電気的なコミュニケーションにつながります。

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