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メール
317399383@qq.com
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電話番号
15955179814
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アドレス
安徽省合肥市経開区宿松路9996号
合肥重光電子科技有限公司
317399383@qq.com
15955179814
安徽省合肥市経開区宿松路9996号
一、フルキャビネット型塗布現像一体機製品作業の説明
1.1プロセスステップ
塗布(離片、滴下、回転、離片)→焼き機(離片、焼成、離片)→次工程(露光)→現像(離片、回転現像と水洗、乾燥、離片)→(次工程へ移行)。
1.2制御システム
制御システムは7インチタッチスクリーンとPLCによってモードを制御し、設備の運行中の各プロセス機能の実行状況をリアルタイムに表示する。自由なフォーミュラ編集、自由な修正、編集、記憶、および呼び出しプロセスフォーミュラなどを実現することができます。
二、フルキャビネット型塗布現像一体機仕様
プロジェクト/Item |
仕様 |
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主体
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外観:ステンレス鋼 モジュール:均質ゴム、熱板、現像、 |
回転塗布モジュール |
回転数:20-5000 R.P.M 回転数精度:±1 rpm 加速度:350-10000RPM/S 減速度:350-10000 RPM/S 時間:1-3000 S 均一性:≤2% 制御方式:PLC フォーミュラ:50グループ20ステップ 付属品:オイルフリー真空ポンプ 吸盤仕様(10 mm、25 mm、2インチ、4インチ、6インチ、埋め込みオプション) |
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ゴム焼きモジュール
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温度範囲:RT ~ 300℃ 処理寸法≤Ø200 mm 温度均一性≦±1.5% 温度制御精度±0.2℃ |
現像パラメータ |
処理サンプルサイズ:6寸以内 トレイ:テフロン 回転数:20-3000 R.P.M 回転数精度:±1 RPM ロッカーアーム:自動 薬液装置:一路現像、一路水 フォーミュラ:マルチステッププログラミングとプログラムストレージが可能 付属品:無油真空ポンプ1台、 吸盤一匹(4、6寸互換) |
三、システム要件
プロジェクト |
説明&仕様 |
システム要件 |
排風:160 m³/h 真空:>-60 Kpa 圧縮空気:5 kg 窒素/:3 kg 水4*6 mm 2.0 Kgf/cm² 電圧:220 V \ 50 HZ |
四、設備寸法
4.1寸法&重量
参考寸法:(幅*奥行き*高さ)1600*800*2000 mm
重量:300 KG