テトラスプレーヘッド超音波ホモジナイザースピンコータ

テトラスプレーヘッド超音波ホモジナイザースピンコータ基板上にレジストやその他の機能性液体を塗布するためのgaoduan、高精度な半導体及びマイクロナノ加工装置である。それは均質化技術の最新の発展方向を代表して、特に複雑な構造と非平面基板の塗布に適している

従来のホモジナイザーは通常、固定された滴下ヘッドまたは静止スプレーヘッドしかなく、中心滴下または静止スプレーによってフォトレジストを基板上に被覆し、その後、高速回転によって発生した遠心力によってコロイドを均一に広げることができる。

四吐出ヘッド超音波ホモジナイザーは革命的な設計である。これには、次のコア部品が統合されています。

4つの独立した超音波圧電ヘッド：これがその名称の由来である。各ヘッドは独立した精密な液体分配ユニットである。

高精度アーム：この4つのヘッドは1つの多自由度アームに取り付けられ、基板上でのノズルヘッドの複雑な3次元運動を正確に制御することができる。

超音波霧化技術：高周波超音波振動を利用して液体を極めて微小で均一な霧状液滴（通常は直径がミクロン級）に「引き裂き」し、それをキャリアガスによって噴射する。

協同制御システム：1つの複雑なソフトウェアシステムで、各ヘッドのスイッチ、流量、及びアームの運動軌跡を同期制御することができる。

一.動作原理の簡単な説明：

接着剤を簡単に中心に垂らすのではなく、1台のようにしています」3Dプリンタ」や「インクジェットプリンタ」と同様に、プログラムを通じて4つのヘッドを制御し、予め設定された経路に従って基板表面に走査スプレーを行う。各ヘッドは独立して動作することができ、協同して動作することができ、それによってqianにはない塗布均一性と柔軟性を実現することができる。

二、核心優勢：

従来のホモジナイザーに比べて、四吐出ヘッド超音波ホモジナイザーは圧倒的な優位性がある：

1.jigaoの均一性：

2.zuo越の段差カバー性と保形性：

3.jiの高い材料使用率：

4.優れた互換性と柔軟性：

5.欠陥を減らす：

三.機械応用分野：

その独特な技術優勢のため、四吐出ヘッド超音波均質化機は主に塗布技術に対してjiの高い先端技術分野に応用される：

1.*半導体製造：

2.MEMS（マイコン電気システム）

3.化合物半導体及びパワーデバイス：

4.フォトニックデバイスと光学素子：

5.表示技術：

6.科学研究と最前線探索：

四.テトラスプレーヘッド超音波ホモジナイザースピンコータ技術パラメータ：