4アーク引張法単結晶成長炉

キャビティ

1、304ステンレスキャビティを採用し、水冷サンドイッチを持ち、冷却水を通すことができる

2、キャビティに石英窓を取り付け、サンプルを観察する

3、キャビティ真空度：10-5 Torr（分子ポンプを採用）

4、キャビティ寸法：Φ257*360 mm

しんくうけい

1、キャビティにデジタル防食真空計と機械圧力計が取り付けられている

アークガン

1、合計4個のアークガンがあり、サンプルに均一な温度場を得ることができる（アークガンはすべて冷却水を持っている）

2、タングステン電極直径Φ4 mm

3、アークキャビティの試料に対する角度と距離は手動で調整できる

4、起弧電源：18 V/185 A電圧380 V

5、溶融温度は3000℃に達することができる

サンプルテーブル

1、水冷銅るつぼを採用する

2、投入可能サンプル量は60 g（鉄で計算）

ひっぱりきこう

1、コントローラは引上げ機構の引上げ速度、回転速度と回転速度を制御する

2、引き上げ速度：0.2-10 mm/h

3、ティラストローク：0-70 mm

4、回転速度：0-40 RPM

制御ユニット

1、単結晶成長のパラメータ（起弧電流、引上げ棒回転数、引上げストロークと回転数）を表示、設定することができる

しんくうポンプ

1、設備に分子ポンプシステム（機械ポンプ＋渦分子ポンプ）を配置する

2、抽気速度：100 L/S

3、設備キャビティの真空度を10-5 Torr（40分以内）にすることができる

じゅんかんすいれいとうき

1、電力：800 W

2、水流速度：58 L/min

3、制冷能力：5004W（17500Btu/hour）

4、温度制御：5 ~ 30°C

設備寸法：800 mm（L）*800 mm（W）*1500 mm（H）