FluxDancer E 900半導体パラメータアナライザ

交渉可能更新05/25

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

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オンラインコンサルト

概要

FluxDancer E 900半導体パラメータアナライザは、半導体装置の電気的特性を測定し分析するために設計されたOriental Spectraによって丹念に作られた高精度試験装置である。この機器は電源、電圧計、電流計、LCR表、スイッチングマトリクスなど多くのフロンティア測定技術を融合し、電流−電圧（IV）と容量−電圧（CV）測定、高速パルスIV測定など多くのテストを実行できるようにした。

製品詳細

FluxDancer E 900半導体パラメータアナライザ紹介：

FluxDancer半導体パラメータアナライザは、半導体デバイスの電気的特性を測定し分析するために設計されたOriental Spectraによって丹念に作られた高精度試験デバイスです。この機器は電源、電圧計、電流計、LCR表、スイッチングマトリクスなど多くのフロンティア測定技術を融合し、電流−電圧（IV）と容量−電圧（CV）測定、高速パルスIV測定など多くのテストを実行できるようにした。

FluxDancerの特徴は、テスト精度と解像度の追求にあります。正確なIVとCV特性を提供できるだけでなく、半導体研究開発、プロセスプロセス開発、デバイス信頼性試験、光電デバイス試験などの分野に広く応用されている。FluxDancerの統合設計は、従来のマルチ機器の組み合わせに比べて高い測定精度と解像度を確保しています。

主な仕様パラメータ：

□電流−電圧（IV）、容量−電圧（CV）、パルスIVテストなどの全面的な機能、

□電流測定分解能zuiは0.1 fA高く、試験精度は30 fA、

□サポートパルスモードにおける最短パルス幅は10 ns、

□試験機能：IV、IV-t、PIV（パルスIV）、Super-PIV（10 ns sampling）CV、インピーダンス、1/f（100 KHz）、Super-1/f（1 MHz）、Solar cell、FET、BJT、ELなど。

□高精度かつ高解像度の測定能力、

□迅速な測定と分析、多種の測定モードをサポートする、

□モジュール化設計、アップグレードと拡張が容易：配置＞10個のスロット、zui大吸収電流を4 Aまでサポートする、

□適用デバイス、材料、能動/受動部品などのタイプの電子部品、

□直感的なユーザーインタフェース、操作フローを簡略化する、

□自動化テストとデータ分析をサポートする。

I-Ⅴソース測定ユニット（SMU）

電圧範囲：±100 V-200 V
直流電流範囲：±1 A
パルス電流範囲：±2 A±3 A
最小電流分解能：0.1 fA
最小電圧分解能：100 nV
電流測定レンジ：10 fA
電圧測定レンジ分解能：0.5 uV
直流電力：20 Wまたは40 Wオプション
zui大パルス電力：480 W（zui大電圧160 V、zui大電流3 A）
四象限テストをサポートする
2ラインまたは4ラインのテストをサポート
IV-Tテストモードをサポートし、zui高速サンプリングレート550 ns毎点、データ記憶ポイントは10 K、1 M、10 Mまたは100 Mに設定することができる