ちょくしゃリソグラフィき

交渉可能更新02/09

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

CG-MLC 6シリーズ直写リソグラフィ機は精巧型リソグラフィ製品である。この装置はデジタルフォトリソグラフィ技術を採用しており、マスクを必要とせず、フォトレジストを塗布した基板にレイアウト情報を直接転送することができる。CG-MLC 6シリーズは機能が柔軟で、体積が小さく、性価格比が高く、各大学、実験室及び研究機関のために作られている。その主な応用製品は各種MEMS製作（例えばMEMSマイクロフォン、圧力センサー、加速度計、ジャイロスコープ、超音波センサー、圧電センサー）、マスクテンプレート製作などを含む。

製品詳細

ちょくしゃリソグラフィき製品特徴：

ディジタルリソグラフィシステム

マイクロナノ素子非マスキングテンプレート直写リソグラフィ

フォトマスクテンプレート作成

3 D構造露光機能

オートアライメント機能

ユーザカスタムタグアラインメント機能

視覚化定点露出機能

オートフォーカス機能

不規則なサンプル露出

高速、微細の2種類の露光モード

複数のデータフォーマットをサポート（GDS II/Gerber/O DB++）

バックアライメント機能（オプション）

405 nm LD光源（375 nmオプション）

ちょくしゃリソグラフィきパラメータ:

モデル	MLC ライト
モデル	モードモード	モード II	モードモード III
最小フィーチャー寸法	0.5μm	1μm	2μm
最小線幅線間隔	0.8μm	1.2μm	2.5μm
CD均一性	10%	10%	10%
2層位置合わせ精度5 x 5 m㎡	500nm	800nm	1000nm
2層位置合わせ精度50 x 50 m㎡	800nm	1000nm	1500nm
生産能力	50mm²/分	100mm²/分	300mm²/分
最小基板サイズ	5mm×5mm
基板の厚さ	0.1～12 mm（オプション）
露光面積	150mm×150mm
グレースケール露出	オプションの128ステップ
露光光源	レーザー、405nmまたは375nm

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