卓上型イメージャ

交渉可能更新02/09

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

卓上型イメージャMSD-150 Dは主に露光後の現像技術に応用されている。この設備は主に現像チャンバユニット、自動振り子アームユニット、及び給液システム、主軸システム、制御システム及び排液システムなどから構成され、機械全体はフレーム構造を採用し、外観は鏡面ステンレスで、塵がなく、粒子を吸着せず、動作方式は手動上下片で、自動的に現像技術を完成する。$r$n卓上型イメージャ現像ユニットの基板は真空吸引付加周囲バッフル固定方式を採用し、輸入サーボモータを採用し、回転速度、加速度、制御精度が高く、再現性が良いことを保証する、給液システムは工場業務又は圧力容器の直接給液方式を採用する。

製品詳細

卓上型イメージャMSD-150 Dは現像均一性と一致性に対する要求が高い表面処理技術に用いられ、シリコンウェハ、リン化インジウム、炭化ケイ素、窒化ガリウムなどに適している。主に4、6インチウエハ及びパッチに応用する.大学、研究所、企業のお客様に適しています。

8インチ、12インチの卓上型現像機も提供しており、ブロー、バッククリーニングなどの機能の詳細はお問い合わせください。

卓上型イメージャ技術仕様：

プロジェクト

仕様

主体

ハウジング材質：鏡面ステンレス鋼

処理サンプルサイズ：6インチウエハ以内

トレイ：PTFE

モーター：

回転数：20-3000 R.P.M

ロッカーアーム：自動

操作画面：7インチタッチスクリーン

現像装置

薬液装置：

現像x 1（温度制御オプション）

DIW x1 型

せいぎょシステム

システム：PLC

使用インタフェース：7インチタッチスクリーン

フォーミュラ：手動モードと自動モード

プログラミング：50グループ20ステップ

あんぜんそうち

ウェハトレイ真空浸透液保護：

真空検出：

デジタル設定：真空値下限保護

実行終了アラームプロンプト

添付	真空ポンプx 1 現像タンクx 1 脱イオン水タンクx 1 廃液タンクx 1 真空吸盤x 1

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