テーブル式自動膜厚計

交渉可能更新02/09

モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

NS-30シリーズ（デスクトップ式自動膜厚計）は、デスクトップ式自動膜厚測定分析システムである。膜厚測定に加えて自動測定ステージを重ねることで、設置したポイントを自動測定し、さらに2 Dと3 Dの資料分布図を生成することができる。NS-30シリーズはウエハ膜厚測定や光起電力電池膜厚測定などに適している。

製品詳細

NS-30シリーズ（デスクトップ式自動膜厚計）は、デスクトップ式自動膜厚測定分析システムである。実現可能屈折率吸収率の消光係数測定、膜厚測定に加えて自動測定ステージを重ねることで、設置したポイントを自動測定し、さらに2 Dと3 Dの資料分布図を生成することができる。NS-30シリーズはウエハ膜厚測定や光起電力電池膜厚測定などに適している。

NS-30 自动 mapping 膜厚仪

一、NS-30シリーズ（デスクトップ式自動膜厚計）の特色

1、サンプルの自動測定、プラットフォームサイズ100 mm ~ 450 mmを選択可能、

2、ソフトウェアは需要に応じて自動的に測定ポイント分布を生成する、

厚さ/屈折率/反射率などの情報を含む3、2 Dと3 Dマッピング効果、

4、フィルムの応力と表面曲げ（Stress/Bow）を測定することができる、

二、NS-30自動mapping膜厚計パラメータ仕様

モデル	NS-30UV型	NS-30	NS-30NIR型
波長範囲	190 nm - 1100 nm	380 nm - 1050 nm	950nm～1700nm
厚さ測定範囲1	1nm～40μm	15 nm - 80 μm	150 nm～250 μm
せいど2	1nmまたは0.2%	2nmまたは0.2%	3nmまたは0.4%
せいど3	0.02 nm	0.02 nm	0.1nm
あんていせい4	0.05 nm	0.05 nm	0.12 nm
フレアサイズ(Flare Size)	1.5 ミリメートル	1.5 ミリメートル	1.5 ミリメートル
そくていそくど	< 1秒（単回測定）	< 1秒（単回測定）	< 1秒（単回測定）
光源	ハロゲンタングステンランプ+重水素ランプ	ハロゲンタングステンランプ	ハロゲンタングステンランプ
サンプルサイズ	直径1mmへ300ミリメートルまたはそれ以上	直径1mmへ300ミリメートルまたはそれ以上	直径1mmへ300ミリメートルまたはそれ以上

1特定の材料に依存

2 Si/SiO 2（500 ~ 1000 nm）標準サンプル

3 500 nm SiO 2標準シートを100回測定した標準偏差の1倍を計算し、20個の有効測定日の標準偏差の1倍に対して平均を取る

4 500 nm SiO 2標準シートを100回測定した平均値を計算し、20の有効測定日の平均値に対して2倍の標準偏差を行う

類似製品推奨