BAG 05 x熱イオン化真空計

BAG 05 x熱イオン化真空計

INFICON Bayard-Alpert受動真空計ヘッドBAG 050、BAG 051、BAG 052及びBAG 053は、INFICON真空計コントローラVGC 083 A及びVGC 083 B用に設計されている。イットリウム酸化物被覆イリジウムフィラメントは、N 2およびアルゴンガスなどの空気および不活性ガス中の一般的な真空用途に適している。ガスがイットリウム酸化物被覆イリジウムフィラメントと互換性がない場合は、タングステンフィラメントを選択する。BAG 05 x真空計は、他のメーカーが製造した互換真空計コントローラを用いても動作することができる。INFICONパッシブBayard-Alpertイオン化真空計（BAG 05 x）は3つの異なる構成を採用することができる：

BAG 050はEB脱気UHV祼イオン化真空計に属し、2×10-11 Torrまでの圧力を測定することができる。

BAG 051は抵抗式脱気（I 2 R）祼イオン化真空計に属し、4×10-10 Torrまでの圧力を測定することができる。

メリット

信頼性と検証済みの測定器ヘッド設計

ほとんどの裸熱イオン化真空計ヘッドの代わりに

広範囲の放出電流（100μA〜10 mA）

単一／二酸化イットリウム被覆イリジウム及び二タングステンフィラメント陰極アセンブリを提供することができる

脱気：すべてのモデルで電子衝撃（EB）を使用して脱気することができます。

BAG 051、BAG 052、BAG 053は抵抗脱気（I 2 R）を用いてもよい

BAG 05 x熱イオン化真空計