266 nm紫外単一縦モードパルスレーザ

ネゴシエーション可能更新01/09

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概要

266 nm紫外シングル縦モードパルスレーザは、光学計量、266ナノ光学系校正または高出力ArFエキシマレーザの帯域幅制御などの応用に適したシングル縦モード全固体レーザシステムである。

製品詳細

266 nm紫外単一縦モードパルスレーザ：

ドイツxiton photonics社はダイオードポンプ固体レーザ和ひせんけいこうがくデバイスのエキスパート。ほぼ任意の必要な波長の信頼性の高いレーザシステムを開発し、製造することができ、20年以上のレーザ開発経験を持ち、深紫外と紫外レーザー器。

IXION SLM 266はシングルたてがた全固体レーザシステム光学計量、266 nm光学系校正または高出力ArFエキシマレーザ帯域幅制御などの応用。スペクトル帯域幅はその理論的フーリエ限界に近い。このレーザはM²<1.7の回折制限されたビームには、1〜15 kHzの繰り返し周波数で8〜10 nsの短い出力パルスが供給される。266 nmでは、平均出力パワーは500 mwに達し、超安定なパルス引き廻しと1.8 mを超える高さがあるコヒーレント従来のレーザでは実現できなかった長さです。

266 nm紫外単一縦モードパルスレーザ製品仕様：

Wavelength/波長	266 nm
Average power/平均電力	500mW
Pulse duration/パルス幅	タイプ 8-10 ns
Energy per pulse/シングルパルスエネルギー	50µJ
Repetition rate/繰り返し頻度	1〜15 kHz
ビーム品質/スポット質量	平方メートル < 1.7
Spectral bandwith/スペクトル幅	80 MHz以下

紫外シングル縦モードパルスレーザ製品の特徴：

典型的なパフォーマンス

スポットの質量

紫外シングル縦モードパルスレーザ製品の応用：

スペクトロメータキャリブレーション
露光
干渉測定
ウェハ検出
ホログラフィ測定
ひかりルミネセンス
ラマンスペクトル

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