213 nm深紫外単一縦モードレーザ

ネゴシエーション可能更新01/09

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概要

213 nm深紫外単縦モードレーザ、光学計量、213ナノ光学系校正または高出力ArFエキシマレーザ帯域幅制御などの応用に適している。

製品詳細

213 nm深紫外単一縦モードレーザ：

ドイツxiton photonics社はダイオードポンプ固体レーザ和ひせんけいこうがくデバイスのエキスパート。ほぼ任意の必要な波長の信頼性の高いレーザシステムを開発し、製造することができ、20年以上のレーザ開発経験を持ち、深紫外と紫外レーザー器。

IXION SLM 213はシングルたてがた全固体レーザシステム光学計量、213ナノ光学系校正または高出力ArFエキシマレーザ帯域幅制御などの応用。スペクトル帯域幅はその理論的フーリエ限界に近い。このレーザはM²<1.6の回折制限されたビームには、1〜15 kHzの繰り返し周波数を有する6〜8 nsの期間の短い出力パルスが提供される。213 nmでは、平均出力パワーは100 mwに達し、超安定なパルス引き廻しと1.5 mを超える高さがあるコヒーレント従来のレーザでは実現できなかった長さです。

213 nm深紫外単一縦モードレーザパラメータ:

Wavelength/波長	213nm
Average power/平均電力	100mW
Pulse duration/パルス幅	タイプ 6-8 ns
Energy per pulse/シングルパルスエネルギー	10µJ
Repetition rate/繰り返し頻度	1〜15 kHz
ビーム品質/スポット質量	平方メートル < 1.6
Spectral bandwith/スペクトル幅	100MHz以下

深紫外単一縦モードレーザ製品の特徴：

スペクトル帯域幅

スポットの質量

深紫外単一縦モードレーザ製品の応用：

スペクトロメータキャリブレーション
露光
干渉測定
ウェハ検出
ホログラフィ測定
ひかりルミネセンス

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