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天津市津南区八里台建鑫城10-4-58
京南華建(天津)科技有限公司
天津市津南区八里台建鑫城10-4-58
異なる実験の要求と安全性を満たす。二本瓶は集水域排出ガス供給設備を採用し、手動、半自動、全自動切替機能を有し、低圧警報装置を設置し、リアルタイムに気圧、濃度測定警報と排気を監視し、顧客の正常なガス使用と生命財産の安全を確保する。
ガス回路システム常用設備
ボンベ(ガス圧縮機)、ボンベ固定フレーム、ボンベキャビネット、ボンベ継手、金属ホース、半自動開閉装置、一級減圧器、二級減圧器、溶接三方、溶接大、小キャップ、クランプスリーブ弁、ステンレス鋼管(BA)、圧力計、可燃性有毒ガス監視警報装置など。
実験室集中給気システム技術要求
、ガスボンベ収納室
ガスボンベの間には厚さ300 mmのソリッドウォールを採用し、防爆ドアを取り付け、防爆窓を設置しなければならない
室内電気設備は防爆機能を持つべきである。(1):(3):(3):(3)(3)(3)(3)(3)(3)(3)(3)(4)(3)(3)(4)(3)(4)(4)
換気扇を取り付け、常に良好な換気状態を保つこと
給気システムには2段減圧給気が必要です。給気バス排出減圧。ガスは15 MPaから1.5 MPa未満に減圧され、その後各ガス使用実験室に輸送された。2級減圧器は各ガス実験室またはガス使用点に設置され、通風キャビネットまたは計器のガス輸送圧力を統一的に制御するのに便利である。ガス終端には中圧ボールバルブと圧力インジケータが取り付けられている。2段減圧器は圧力(0.01メガパスカル)を正確に調整し、安定した圧力を得て、異なる使用圧力に対する計器の要求を満たすことができる。1段減圧器と2段減圧器には圧力計が備えられており、現在の圧力をリアルタイムで表示することができる。
、両側集水域排半自動方式を用いて連続的にガスを供給し、実験室の使用要求。
、水素とアセチレンは。ガス漏れ検出と警報装置を設計し、火災防止器を設置して、火災の戻りを防止しなければならない。可燃性ガスと燃焼促進ガスを配置するための十分な安全距離を確保しなければならない。
実験室高純ガス路レイアウト
高純度ガス管システムの配置は通常のガス管とは異なる。一般的には、きれいに吹きにくい「ブラインドチューブ」のように、パイプが長すぎず、死角がないことが求められています。主管または枝管の末端には必要な排出口とサンプリング口を提供しなければならない。一部の不連続に使用されているユーザーでは、少量のガスをパイプの端から連続的に排出させることで、パイプ内のガスが正常に流れ、「デッドゾーン」が発生しないようにしています。プロセスガスの品質要求に応じて、必要に応じて終端浄化装置を設置しなければならない。一般的には、制御弁、フィルタ、減圧装置、圧力計、流量計、オンライン分析機器などがある。クリーンな職場に入る高純度ガス管はガス人口室に集中し、統一的な管理と制御に便利である。
高純度ガス路管路及び管路付属材料:高純度ガス管路輸送管路はプロセスによってガス純度、許容不純物含有量、粒子含有量などの異なる要求に応じて、相応の品質の管路を採用しなければならない。例えば、半導体工業はクリーンな生産環境を必要とするだけでなく、その複雑な生産過程と精密加工のため、生産過程に必要な各種の高純度ガスに対しても具体的で厳格な要求がある。ミクロン技術からサブミクロンと深サブミクロン(0.35 um未満)技術まで、ガス中の不純物含有量と水分含有量に対する要求は非常に厳しく、10-6(ppm級)は要求を満たすことができない。10−9(ppb級)〜10−12(ppt級)に達する必要があり、粉塵粒子径は0.05〜0.01μmに制御する必要がある。
パイプ材料の特性は高純度ガスを輸送するパイプに対して、ガス品質に影響するパイプ材料の主な特性は通気性、排気率、吸着性、表面粗さ、耐摩耗性と耐食性である。
給気システム配管取付要求
、配管敷設は設計要求に合致しなければならず、設計に要求がない場合、乾燥ガス配管は水平に設置しなければならない。湿気を輸送するパイプは勾配が0.003以上で、勾配は凝縮水収集器に向かうべきである。
パイプは溶接接続を採用し、タングステン極アルゴンアーク溶接下地、手動アーク溶接被覆。ステンレス鋼管の溶接又はスポット溶接はアルゴン充填保護措置をとるべきである
ガス管と設備、バルブ、その他の付属品はフランジまたはねじで接続してください。
、ガス管が清浄室を通過する時、フランジガスケット又はネジフィラーの露出部分は、必ずきれいに掃除しなければならない
ガス管にブラストによる錆除去や酸洗不動態化継ぎ目なし鋼管を採用する場合、集中設置方式を採用しなければならず、設置は48時間以内に段階的に組み合わせなければならず、窒素ガス保護、充填圧力は0.2メガパスカル以上である