天津実験室の高純ガス路配置

天津実験室の高純ガス路配置

高純度ガス管システムの配置は通常のガス管とは異なる。一般的には、きれいに吹きにくい「ブラインドチューブ」のように、パイプが長すぎず、死角がないことが求められています。主管または枝管の末端には必要な排出口とサンプリング口を提供しなければならない。一部の不連続に使用されているユーザーでは、少量のガスをパイプの端から連続的に排出させることで、パイプ内のガスが正常に流れ、「デッドゾーン」が発生しないようにしています。プロセスガスの品質要求に応じて、必要に応じて終端浄化装置を設置しなければならない。一般的には、制御弁、フィルタ、減圧装置、圧力計、流量計、オンライン分析機器などがある。クリーンな職場に入る高純度ガス管はガス人口室に集中し、統一的な管理と制御に便利である。

高純度ガス路管路及び管路付属材料：高純度ガス管路輸送管路はプロセスによってガス純度、許容不純物含有量、粒子含有量などの異なる要求に応じて、相応の品質の管路を採用しなければならない。例えば、半導体工業はクリーンな生産環境を必要とするだけでなく、その複雑な生産過程と精密加工のため、生産過程に必要な各種の高純度ガスに対しても具体的で厳格な要求がある。ミクロン技術からサブミクロンと深サブミクロン（0.35 um未満）技術まで、ガス中の不純物含有量と水分含有量に対する要求は非常に厳しく、10-6（ppm級）は要求を満たすことができない。10−9（ppb級）〜10−12（ppt級）に達する必要があり、粉塵粒子径は0.05〜0.01μmに制御する必要がある。そのため、輸送管路の管材料特性は高純度及び超高純度ガスの要求を満たす必要がある。

パイプ材料の特性は高純度ガスを輸送するパイプに対して、ガス品質に影響するパイプ材料の主な特性は通気性、排気率、吸着性、表面粗さ、耐摩耗性と耐食性である。

給気システム配管取付要求

、配管敷設は設計要求に合致しなければならず、設計に要求がない場合、乾燥ガス配管は水平に設置しなければならない。湿気を輸送するパイプは勾配が0.003以上で、勾配は凝縮水収集器に向かうべきである。

パイプは溶接接続を採用し、タングステン極アルゴンアーク溶接下地、手動アーク溶接被覆。ステンレス鋼管の溶接又はスポット溶接はアルゴン充填保護措置をとるべきである

ガス管と設備、バルブ、その他の付属品はフランジまたはねじで接続してください。ねじ継手のフィラーはポリテトラフルオロエチレンフィルムでなければならない

、ガス管が清浄室を通過する時、フランジガスケット又はネジフィラーの露出部分は、必ずきれいに掃除しなければならない

ガス管にブラストによる錆除去や酸洗不動態化継ぎ目なし鋼管を採用する場合、集中設置方式を採用しなければならず、設置は48時間以内に段階的に組み合わせなければならず、窒素ガス保護、充填圧力は0.2メガパスカル以上である

導体断面と溶接ラップ長さは設計要求に適合しなければならない。溶接点は確実でなければならない。

天津実験室の高純ガス路配置