ニコン、CNC映像測定システムの新モデル「NEXIV VMZ-S 3020」を発表-化学機器ネットワーク

ニコン、CNC映像測定システムの新モデル「NEXIV VMZ-S 3020」を発表

車載電子、半導体部品に適したNEXIV新シリーズ

「NEXIV VMZ-S3020」

ニコン株式会社（社長：馬立稔和、東京都港区）の子会社、Nikon Solution株式会社（社長：園田晴久、東京都品川区）は、電子、半導体などの精密部品向けにCNC映像測定システムの新「NEXIV VMZ-S」シリーズを開発し、第1弾として「NEXIV VMZ-S 3020」を発売した。

CNC映像測定システム「NEXIV」は、ニコン*の光学技術と画像処理技術を用いて、電子・半導体部品を自動測定できる装置である。画像解析と高速で正確なエッジ検出により、複雑で特殊な形状の被検物品についても迅速に測定することができる。今回発売された「NEXIV VMZ-S」シリーズは、従来機種の「NEXIV VMZ-R」シリーズの精度を維持するだけでなく、より高い生産性を実現しています。

「NEXIV VMZ-S 3020」は「JIMTOF 2020 Online」（2020年11月16日～12月11日）オンライン展示会に出展する。

また、大型ステージモデル「NEXIV VMZ-S 4540」および「NEXIV VMZ-S 6555」も開発中で、2021年後半に順次発売予定です。

発売概要

製品名	CNC映像測定システム「NEXIV VMZ-S 3020」
注文受付時間	2020年11月12日

*開始出荷時期は2021年1月。

開発の由来

近年、自動車業界は自動運転と電気自動車市場の拡大を背景に、電気化が急速に発展し、自動車用の電子、半導体部品が増加している。生命の安全に関わるため、採用する部品も非常に厳格な品質管理が必要であり、測定設備に対する要求も高まっている。そこで、ニコンは車載電子、半導体部品などの測定用途に適したCNC映像測定システム「NEXIV VMZ-S」シリーズを開発し、発売した。

主な特長

1.高生産能力
「NEXIV VMZ-S 3020」は、高精度線形格子定規と精密ステージで高精度な測定を提供するとともに、ステージ移動と画像処理の高速化により、従来機種「NEXIV VMZ-R」シリーズに比べて高い生産能力を実現した。お客様*の精度と再現性を保証し、測定時間を短縮します。

2.高品質画像、高精度測定
歪みのない高品質な画像により、視野中心付近にいなくても確実な測定結果が得られる。また、被検出物品の形状に応じて同軸表面光、底部透過光、8つの扇面環状光の選択と光量・照射方向の調整により、検出しにくいエッジを鋭敏に捉えることができる。また、1000ドット/秒の高速レーザ走査により、サンプルの断面形状を取得することができ、高さ方向の形状評価にも対応することができる。さまざまな部品の測定ニーズに対応しています。

3.優れた実用性
シリーズ共通の寸法測定ソフト「NEXIV AutoMeasure」により、すっきりと効率的に寸法測定を行うことができます。また、簡易形状を対象に、測定プログラム作成工程の一部を自動化する機能を追加した。

また、NEXIVシリーズを利用する顧客の要望に応えるため、ステージやヘッドの移動を制御するためのジョイスティックユニットは、より操作しやすい設計が採用されている。

主な仕様

測定範囲（X × Y × Z）	300×200×200 mm（TZ型低倍対物レンズ使用時：250×200×200 mm）
さいしょうリード	0.01ミクロメートル
さいだいかじゅうりょう	20 kg（精度保証荷重：5 kg）
測定精度（Lは測定長さ（㎜））	E_UX、MPE、E_UY、MPE（X軸、Y軸精度）：1.2+4 L/1000μm E_UXY、MPE（XY軸精度）：2.0+4 L/1000μm E_UZ、MPE（Z軸精度）：1.2+5 L/1000μm
カメラ	モノクロ/カラー1/3インチCMOS
ズームレンズモデル *（倍率・視野）	・1型：（0.5～7.5 x・9.33 x 7～0.622 x 0.467 mm）・2型：（1～15 x・4.67 x 3.5～0.311 x 0.233 mm）・3型：（2～30 x・2.33 x 1.75～0.155 x 0.117 mm）・4型：（4～60 x・1.17 x 0.88～0.078 x 0.058 mm）・TZタイプ：（1～120 x・4.67 x 3.5～0.039 x 0.029 mm）・Aタイプ：（0.35～3.5 x・13.3 x 10～1.33 x 1 mm）
オートフォーカス	レーザーオートフォーカス（A型はオプション）、画像オートフォーカス
ライト*	・1～4型：同軸表面光、底部透過光、8セクタの環状光（すべて白色LED光源／1、2、3型3角度、4型1角度を採用）・TZタイプ：同軸表面光、ベース光（VMZ-S 3020の低倍を除く）、暗視野照明・A型：同軸表面光、底面光、8つの扇面のリング光（すべて白色LED光源／1種類の角度を採用）
電源仕様/定格電流	AC100-240V、50/60Hz/4A - 2A
サイズ（W×D×H/重量）	本体+台座：700×730×1793 mm/約265 kg 制御箱：190×450×450 mm/約12 kg
敷地面積（W×D）	2700×2400ミリメートル

*用途によっては、6種類のレンズモデルが選択できます。レンズモデルによって搭載されている照明システムも異なります。