国産層流流量測定制御ハードコアが登場！難易度は3大主力製品を携えてCIOE中国光博会に登場

今回の展覧会には、世界30以上の国と地域の4000社以上の企業が集まり、展示面積は26万平方メートルに達した。国内層流流量測定制御分野の代表企業として、陝西難易度知能科学技術有限公司（以下「難易度」と略称する）は多くの自己研究製品を携えて展示会に登場した。

難易度ブース現場（ブース番号：7 A 97）

陝西度知能科学技術有限公司の層流品質流量計とコントローラ製品は、すでに中国計量科学研究院の関連認証を通過し、汎用型層流品質流量計の規模化生産能力を備え、同時に層流流量計CPA認証資格を持っている。会社は2015年に設立され、研究開発チームは西北工業大学航空宇宙専門博士後、博士を核心とし、深耕層流圧差とマイクロ流量測定制御技術は10年余り、20件余りの特許を持ち、『流量測定技術全書』の編纂、科学技術部水素エネルギー重点特別プロジェクトなどの国家級プロジェクトに参加した。製品の量程は0.5 SCCM ~ 5000 SLPMをカバーし、70種類以上のガスをサポートし、半導体、光起電力、燃料電池、バイオ製薬などの業界にサービスし、国内の多くの地域をカバーする現地化サービスネットワークを構築した。

深い技術蓄積に基づいて、今回の展覧会の難易度はPシリーズ携帯質量流量計、ECシリーズ一体型質量流量コントローラ、TCシリーズポケット型質量流量コントローラを集中的に展示し、それぞれ現場検証、工業過程制御と小型設備統合シーンに対応している。

　　Pシリーズ携帯質量流量計：携帯随行、現場快速流量検査

難易度Pシリーズ次世代携帯質量流量計

製品は層流圧差式測定原理を採用し、ハーゲン-ポアズ葉の法則に基づいて、層流素子の両端圧差を読み取って体積流量を計算し、圧力、温度修正を経て標準体積流量と品質流量を獲得する、カラータッチスクリーンは同時にモード流量、モード流量、積算流量、圧力、温度などのパラメータを表示することができる。

設備の内蔵電池は15時間航続し、外接データ線を必要とせずに独立して測定することができる、測定範囲は0.5 SCCM ~ 5000 SLPMをカバーし、正確精度は最高±0.5%示度、再現性精度は最高±0.1%F.S、応答時間は≦100 msで、低圧損失構造を選択することができる。

　　ECシリーズ一体型層流質量流量制御器：全自己研究コア部品、複雑な作業状況に適合

難易度ECシリーズ一体型層流質量流量制御器

製品の広い温度適応範囲は-50℃~ 80℃に達し、最大作動圧力は2 MPa以内で負圧を支持し、70種類以上のガスは任意に切り替えることができる、RS 485、PROFIBUS、EtherCAT、PROFINET、DeviceNet及び4 ~ 20 mA/0 ~ 5 Vなどの多種の通信方式をサポートし、汎用、耐腐食、半導体、耐吸着などの多種のシーンモデル及びVCR、カードカバー、Gねじ、IGSなどのエア路インタフェースを提供する。

　　TCシリーズポケット型層流質量流量制御器：小サイズ、高性能

度合TCシリーズポケット型層流質量流量制御器

TCシリーズは難易度開発の次世代コンパクトガス質量流量コントローラで、本体の長さはわずか70 mmで、着脱可能な磁気吸収式タッチスクリーンを搭載している。製品は層流圧差式測定原理を採用し、自主開発の高精度電磁比例弁を内蔵し、センサーフィードバックと結合して正確な閉ループ制御を実現する。

製品の距離は0.5 SCCM ~ 20 SLPMをカバーし、正確精度は最高±0.5%設定値、再現性精度は最高±0.1%F.S、応答時間は≦600 ms、70種類以上のガス切り替えをサポートし、Gねじ、VCR、カセット、IGSなどの多種のガス路インタフェースは、小型実験プラットフォームと小型プロセスモジュールの流量測定制御集積に適している。

展示会の現場、難易度ブースには多くの半導体、光電、新エネルギー業界の観客が足を止めて問い合わせを受けた。技術者はCVD技術、燃料電池テスト、設備校正などの応用例を結合して、測定精度、多ガス適合、長期運行安定性などの問題について顧客と深く交流する。

将来、難易度は持続的に深耕層流圧差流量測定制御の核心技術、繰り返し製品マトリックスを最適化し、現地化サービスを完備し、国産自己研究精密流量デバイスで半導体、新エネルギー、ハイエンド科学研究装備産業チェーンの自主的なグレードアップを支援する。