ニコン、ウエハ自動測定システムNEXIV VMZ-NWL 200を発表

ニコン株式会社の工業計測事業部門はこのほど、半導体バックエンドプロセスにおけるウェハ計測の課題を解決するための自動ウェハ計測システムNEXIV VMZ-NWL 200を発表した。従来、フロントエンドプロセス制御よりも手動で実行されていた作業が多かった。したがって、NEXIV VMZ−NWL 200の主なターゲット市場は、後端半導体製造プロセスを中心とした測定である。

NEXIV VMZ−NWL 200は、手動測定の熟練技術者の不足を緩和する。半導体業界は小型化の道に沿って発展しており、測定に必要なスキルレベルが向上し、利用可能なエンジニアの数が減少しています。一方、半導体市場は拡大を続けているため、ますます少ない人に計量機会が提供されるようになっている。したがって、従来の光学顕微鏡を用いた手動測定は限界に達している。

NEXIV VMZ−NWL 200は、測定プログラムに従ってキャリアに保存されている6インチまたは8インチのウエハを自動的に測定するシステムである。NEXIVの信頼性とNWLを用いた安定したウェハロードにより、測定の高い反復性が確保された。このシステムは、測定するチップを専用ソフトウェアを用いて直感的に選択することを可能にする。そのため、誰でも高度な信頼性で必要なチップ測定結果を得ることができる。また、測定した時間やプログラムを追跡することもでき、トレーサビリティの向上に役立ちます。

システムは設計時に安全性を考慮し、オペレータのエラーによる破損を防ぐための保護カバーを提供しています。操作はSEMI国際規格S 2、S 8、F 47に準拠している。

ニコン計量について
ニコンは100年以上の歴史の中で蓄積された先進的な光電子と精密技術に基づいて、世界中で様々な製品、サービス、ソリューションを提供しています。同グループは、生活の質や製造業の向上にさまざまな形で貢献する新たな価値を創造し続けている。ニコンの産業計量業務部（IMBU）は、カスタマイズ性とコスト効率だけでなく、実装直後にも動作が良好な統合、最適化された超高精度ソリューションを提供しています。ニコンデジタル製造傘下の最新の発展は、IMBUと同社のデジタルソリューション事業部門（DSBU）との間でより緊密な協力であり、この部門は各種サブミクロン表面の光沢度を加工するための一連の光学増材と減材製造ソリューションを提供している。