復旦大学プラズマ表面処理システムPluto 30の設置調整

プルート30研究開発のために設計された全機能プラズマシステムであり、13.56MHzの無線周波数発生器と自動整合ネットワーク電源は、プロセス領域全体にわたって均一なプラズマを生成する。プルート30の真空チャンバは最大7個のサンプルラックを調整して、様々な形状寸法のサンプルを収容することができる。プルート30複数の電極設置があり、RIE は和PECVD はモデルを採用することで、システムの応用範囲を拡大し、ユーザーに良好な柔軟性を提供します。

復旦大学高分子学部の先生は、装置から発生したプラズマを利用して真空ポンプとガスバルブが閉じた状態で真空チャンバ内の物質と化学反応させ、化学反応後に発生した新しい物質を取得するプラズマ化学反応の実験をこの装置で行いたいと考えています。この実験は、プラズマ装置に対して精密な制御が要求され、真空チャンバの保圧能力に対して高い要求がある。お客様は調査を経て、最終的に我が社を選びました冥王星シリーズプルート30プラズマ表面処理システム。

応用分野：

ひょうめんかっせい

材料の接着性を高めるために表面エネルギーを高める：予圧ダイ接着、プリボンディングワイヤボンディング

表面コロイド流動性の強化：プリフォーム、プリフリップチップアンダーフロー

表面粗さとエッチング

表面応力を低減し、表面接着性を改善する

灰化と表面洗浄

Plasmaプラズマエッチング（RIE構成搭載）

誘電体／III−IV材料

ナノコーティング（液体前駆体輸送装置搭載）

耐水ナノコーティング：プリント基板表面処理

防腐ナノコーティング：医療機器、医療インプラント