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珠海市ハイテク区金唐路1号港湾1号科創園湾5棟3階
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要約
実験データ、物理と幾何光学の定性分析及びMie理論の厳格な計算などの3つの方面から、光波長よりはるかに大きい粒子の散乱光場であっても、その実際の光エネルギー分布と回折理論が与えた結果との間には無視できない誤差があることを証明した:大きい散乱角に現れた実際の散乱光エネルギーは回折理論光エネルギーよりはるかに大きい。回折理論の計算結果によれば、この誤差は1µm程度の粒子による光エネルギー分布と同等である。粒子が光に吸収性を有する場合、誤差は著しく減少する。
キーワード:回折MIE散乱光エネルギー分布
はじめに
レーザー散乱粒子測定の分野では、比較的大きな粒子(一般に直径2µmより大きい粒子を指す)の光散乱は、その粒子の投影ウエハの回折で記述できると考えられている。しかし、著者らは長年のレーザー粒子測定の実際の仕事の中で、直径がほぼ100 ~ 200µmの粒子であっても、回折理論で推定した分布と実測光エネルギー分布との間には明らかな違いがあることを発見した。本文はまず1組の実測結果と回折理論結果の比較を提供して、その差異を指摘して、それから物理光学、幾何光学及びMie理論などのいくつかの方面からこの現象に対して分析を行って、後に回折理論を用いて大粒子の散乱光エネルギー分布を計算するのは一般的な情況の下でとても大きい誤差があって、そしてこの誤差は被測定サンプルの粒度分析に対する誤りを招くことができる。