真空チャンバにおいて、ガス（例えば酸素、アルゴン、四フッ化炭素など）は、無線周波数またはマイクロ波励起などによってプラズマにイオン化される。プラズマ中の高エネルギーイオンは物理衝撃によって表面汚染物質を分離し、活性ラジカルは汚染物質と化学反応して揮発性ガスを生成し、それによって洗浄目的を達成するとともに、プラズマは材料表面化学結合を遮断し、活性部位を形成し、表面活性化を実現することができる。

プラズマ真空洗浄機の利点：

効率的で環境に優しい：

処理過程全体に水や化学溶媒を必要とせず、二次汚染を回避し、環境保護の要求に合致する。

洗浄効率が高く、数分以内に処理を完了でき、生産効率を高めることができる。

処理範囲が広い：

ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリテトラフルオロエチレンなどの高分子材料を含む金属、プラスチック、セラミックス、ガラスなどの多種の材料に適している。

複雑な形状のサンプルを処理し、多様なニーズに対応することができます。

表面改質機能：

洗浄は同時に表面活性化を実現し、材料親水性、接着性などの性能を高める。

炭化水素基、アミノ基、カルボキシル基などの官能基を導入することにより表面化学特性を改善し、材料機能を強化する。

低温処理：

加工温度が80°Cさえ50°C以下、熱感受性材料の損傷を避ける。

コスト効果：

設備のランニングコストが低く、24時間連続で動作し、手動で監督する必要はありません。

洗浄液の輸送、貯蔵、排出などの追加コストを回避し、全体コストは従来の湿式洗浄より低い。